國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體材料迎重大進(jìn)展，有望打入臺(tái)積電3nm供應(yīng)鏈

電子發(fā)燒友網(wǎng)（文/吳子鵬）半導(dǎo)體材料是整個(gè)產(chǎn)業(yè)絕對(duì)的上游，可謂是牽一發(fā)而動(dòng)全身，在此前日韓半導(dǎo)體出口限制事件中，半導(dǎo)體材料扮演了重要的角色?？傮w而言，半導(dǎo)體材料是一個(gè)技術(shù)壁壘高，歐美日韓高度壟斷的行業(yè)。

據(jù)報(bào)道，近期國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體材料迎來(lái)重大進(jìn)展，光微半導(dǎo)體材料（寧波）有限公司（以下簡(jiǎn)稱：光微半導(dǎo)體）投資的國(guó)產(chǎn)3nm超純?yōu)R射靶材產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目，已經(jīng)進(jìn)入客戶驗(yàn)證階段，預(yù)計(jì)近期可實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)。

滿足45-3nm工藝節(jié)點(diǎn)的國(guó)產(chǎn)材料

介紹信息顯示，光微半導(dǎo)體隸屬于有色金屬冶煉和壓延加工業(yè)領(lǐng)域，提供電子專用材料的研發(fā)、制造和銷售，是國(guó)內(nèi)唯一掌握7N超純金屬材料提純技術(shù)、超純銅基微合金鑄錠技術(shù)、3nm半導(dǎo)體工藝靶材加工技術(shù)的公司。

根據(jù)寧波杭州灣新區(qū)網(wǎng)站信息，光微半導(dǎo)體3nm超純?yōu)R射靶材產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目和光電集成電路項(xiàng)目、晶片電阻項(xiàng)目一起于2021年的年中時(shí)段集中簽約落地新區(qū)數(shù)字經(jīng)濟(jì)產(chǎn)業(yè)園。

11月上旬，光微半導(dǎo)體成功掛牌寧波“青年創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)板”項(xiàng)目，在公司介紹部分，寧波杭州灣新區(qū)網(wǎng)站中寫(xiě)到，光微半導(dǎo)體擁有一支高技術(shù)水平的研發(fā)和生產(chǎn)團(tuán)隊(duì)，通過(guò)不斷的科研創(chuàng)新，已自主掌握關(guān)鍵核心技術(shù)，打破國(guó)內(nèi)超高純電子專用材料制備、加工技術(shù)等被國(guó)外寡頭壟斷的格局。

據(jù)介紹，隨著3nm超純?yōu)R射靶材產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目進(jìn)入準(zhǔn)量產(chǎn)階段，光微半導(dǎo)體具備供應(yīng)45-3nm工藝節(jié)點(diǎn)使用的超純?yōu)R射靶材的能力。在3nm工藝方面，光微半導(dǎo)體已經(jīng)與臺(tái)積電供應(yīng)商光洋科建立供應(yīng)關(guān)系，為其代工3nm芯片制造工藝所需的銅錳靶材，后續(xù)這些材料將進(jìn)入臺(tái)積電3nm供應(yīng)鏈。

光洋科是中國(guó)臺(tái)灣最大的貴稀金屬應(yīng)用材料制造商，2020年3月正式出貨臺(tái)積電，成功躋身臺(tái)積電綠色供應(yīng)鏈新成員。目前，該公司正在經(jīng)歷光洋科公司派和臺(tái)鋼派的經(jīng)營(yíng)權(quán)之爭(zhēng)，但前者獲得聯(lián)電、南茂、穩(wěn)懋、晶技以及臺(tái)積電的力挺，預(yù)計(jì)不會(huì)對(duì)臺(tái)積電最新工藝造成影響，也不會(huì)阻斷光微半導(dǎo)體的供應(yīng)渠道。

根據(jù)臺(tái)積電CEO魏哲家此前的公開(kāi)言論，臺(tái)積電3nm N3將在2021年內(nèi)風(fēng)險(xiǎn)性試產(chǎn)，2022年下半年大規(guī)模量產(chǎn)，2023年第一季度獲得實(shí)際收入。如果光微半導(dǎo)體真正打入到臺(tái)積電的供應(yīng)體系，預(yù)計(jì)將成為其在與儲(chǔ)備客戶中芯國(guó)際、華虹等廠商溝通時(shí)的加分項(xiàng)，有望爭(zhēng)取到更多成熟工藝的訂單。

同時(shí)，光微半導(dǎo)體實(shí)現(xiàn)突破之后，有望和江豐電子一起進(jìn)一步提升寧波在靶材產(chǎn)業(yè)的戰(zhàn)略地位。目前，江豐電子的靶材技術(shù)也已經(jīng)突破進(jìn)入先進(jìn)制程，相關(guān)產(chǎn)品打入臺(tái)積電、中芯國(guó)際、格羅方德、意法半導(dǎo)體等廠商的供應(yīng)鏈。

國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體材料偶有閃光

半導(dǎo)體材料是一類具有半導(dǎo)體性能（導(dǎo)電能力介于導(dǎo)體與絕緣體之間，電阻率約在1mΩ·cm～1GΩ·cm范圍內(nèi)）、可用來(lái)制作半導(dǎo)體器件和集成電路的電子材料。按照實(shí)際應(yīng)用來(lái)劃分，半導(dǎo)體材料主要分為晶圓材料和封裝材料，前者主要是硅片、光掩膜、光刻膠、光刻膠輔助設(shè)備、濺射靶、拋光液等；后者則主要包括層壓基板、引線框架、焊線、模壓化合物等。

從單一材料的市場(chǎng)份額占比來(lái)看，半導(dǎo)體材料中占比最大的是硅片，占全部半導(dǎo)體材料市場(chǎng)的37%左右。從產(chǎn)業(yè)發(fā)展的近況來(lái)看，12英寸硅片在未來(lái)的市場(chǎng)占比將逐年提高。原因很簡(jiǎn)單，硅片尺寸越大，能夠生產(chǎn)的晶片數(shù)量就越多，用于半導(dǎo)體生產(chǎn)的效率越高，單位耗用原材料越少。對(duì)于大陸市場(chǎng)而言，各大晶圓廠對(duì)12英寸硅片的需求將逐年提升，預(yù)計(jì)于2020年將突破100萬(wàn)片/月的需求量。

2019年和2020年，國(guó)產(chǎn)12英寸硅片陸續(xù)取得突破，滬硅產(chǎn)業(yè)、上海超硅、鄭州合晶、中環(huán)股份等數(shù)家企業(yè)都宣布在國(guó)產(chǎn)12英寸硅片方面實(shí)現(xiàn)超過(guò)10萬(wàn)片/月的產(chǎn)能，其中滬硅產(chǎn)業(yè)的產(chǎn)能達(dá)到30萬(wàn)片/月，后續(xù)規(guī)劃產(chǎn)能在百萬(wàn)片/月以上的規(guī)模，隱隱有成為國(guó)產(chǎn)大硅片龍頭的趨勢(shì)。包括12英寸硅片在內(nèi)，大陸硅片產(chǎn)業(yè)近兩年發(fā)展迅猛，讓信越化學(xué)、盛高、環(huán)球晶、Silitronic和SK集團(tuán)五大家的總份額占比持續(xù)走低，從2019年的92.57%，下降為2020年的86.61%。

在硅片之后，份額最二大的半導(dǎo)體材料是掩膜，這個(gè)領(lǐng)域里面的本土企業(yè)并不如硅片行業(yè)這么熱鬧，清溢光電是唯一能夠進(jìn)入主流市場(chǎng)的，該公司在平板顯示掩膜版方面具有不俗的競(jìng)爭(zhēng)實(shí)力，在半導(dǎo)體掩膜版方面正在大力研發(fā)。

和掩膜、靶向材料情況類似，本土企業(yè)在特殊氣體、光刻膠、蝕刻劑等材料方面，大都屬于完成從零到一的破局，在陸續(xù)走向高端，并持續(xù)擴(kuò)大自己的市場(chǎng)份額。因此，我們總是不時(shí)能夠看到本土半導(dǎo)體廠商取得重大進(jìn)展的消息。

但是，從整體供應(yīng)市場(chǎng)來(lái)看，本土半導(dǎo)體材料產(chǎn)業(yè)依然處于起步階段，包括硅片和光刻膠在內(nèi)的各個(gè)細(xì)分環(huán)節(jié)自給率基本都不足10%，擁有巨大的替代發(fā)展空間。后續(xù)，相關(guān)企業(yè)將會(huì)持續(xù)在細(xì)分領(lǐng)域傳出好消息，技術(shù)達(dá)到國(guó)際領(lǐng)先水平，實(shí)現(xiàn)從無(wú)到有，從弱到強(qiáng)的蛻變。