電容式傳感器是將被測(cè)非電量的變化轉(zhuǎn)換成電容量的變化,通過(guò)測(cè)量電容推算出被測(cè)非電量的傳感器。它的敏感部分就是具有可變參數(shù)的電容器。其最常用的形式是由兩個(gè)平行電極組成、極間以空氣為介質(zhì)的電容器。
電容式傳感器的核心部分就是具有可變參數(shù)的電容器。若忽略邊緣效應(yīng),平板電容器的電容C=εA/δ,式中ε為極間介質(zhì)的介電常數(shù),A為兩電極互相覆蓋的有效面積,δ為兩電極之間的距離。δ、A、ε 三個(gè)參數(shù)中任一個(gè)的變化都將引起電容量變化,如果保持其中兩個(gè)不變,而僅僅改變其中一個(gè)參數(shù),就可以把該參數(shù)的變化轉(zhuǎn)換為電容量的變化,通過(guò)測(cè)量電路就可以轉(zhuǎn)化為電量輸出。
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