欲求其上，必求上上，探索半導(dǎo)體探針臺(tái)國產(chǎn)化之路

隨著國內(nèi)多個(gè)12寸晶圓廠的建立，快速激增了以探針臺(tái)測試設(shè)備為代表的市場需求，國內(nèi)探針臺(tái)市場一舉成為了全球增長最快的市場之一。據(jù)SEMI，CSA Research相關(guān)數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)，預(yù)計(jì)2026年將達(dá)到98億元，年復(fù)合增長率(CAGR)為10.0%。國內(nèi)探針臺(tái)市場規(guī)模2022年將增長到15.69億元。

全球探針臺(tái)市場規(guī)模及國內(nèi)探針臺(tái)市場規(guī)模

無論是芯片設(shè)計(jì)的可靠性驗(yàn)證測試，或是晶圓量產(chǎn)中的WAT和CP測試，探針臺(tái)在其中起著至關(guān)重要的作用。探針臺(tái)設(shè)備主要技術(shù)壁壘在系統(tǒng)的精準(zhǔn)定位、微米級(jí)運(yùn)動(dòng)以及高準(zhǔn)確率通信等關(guān)鍵參數(shù)。目前全球高端探針臺(tái)市場仍主要被美、日、韓等國所占據(jù)。近年來在國家對(duì)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的大力扶持下，國產(chǎn)化技術(shù)的發(fā)展進(jìn)程不斷加快，中國半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)將加速迎來國產(chǎn)替代的機(jī)會(huì)。在國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備市場中，探針臺(tái)是我國目前最有希望能實(shí)現(xiàn)高國產(chǎn)化率的設(shè)備。

今天我們有幸來到全球先進(jìn)晶圓探針臺(tái)制造商之一，深圳市森美協(xié)爾科技有限公司(SEMISHARE)，與SEMISHARE創(chuàng)始人/CEO劉世文先生進(jìn)行交流，探秘中國自己的先進(jìn)探針臺(tái)科技。

SEMISHARE成立于2009年，是一家以半導(dǎo)體、面板產(chǎn)業(yè)為發(fā)展方向,集探針臺(tái)、面板激光修復(fù)設(shè)備的研產(chǎn)銷為一體的國家級(jí)高新技術(shù)企業(yè)。

2011年

在國內(nèi)第一家推出SCG系列高低溫真空探針臺(tái)。

2012年

在國內(nèi)第一家推出自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的Touch Panel /LCD 用激光修復(fù)機(jī)LP IR/GRN ，應(yīng)用于面板的laser cut/welding修復(fù)。

2013年

與美國ESI(Boston、Montreal、深圳三地)共同合作研發(fā)應(yīng)用于oled修復(fù)的飛秒激光項(xiàng)目和DM亮點(diǎn)暗化項(xiàng)目。

2014年

在國內(nèi)第一家推出自主研發(fā)的TEG Prober面板激光探臺(tái)。

06月-推出高精度變溫霍爾效應(yīng)測試系統(tǒng)。

2015年

在中國率先推出Flex系列亮點(diǎn)暗化激光系統(tǒng)應(yīng)用于TFT-LCD/OLED的亮點(diǎn)暗化，較傳統(tǒng)的修復(fù)方式在良率和效率方面有極大的提升。

10月，在國內(nèi)第一家推出in-line CVD激光修復(fù)機(jī)，應(yīng)用于客戶量產(chǎn)。

2016年06月

SEMISHARE參與總投資超過20億元，由哈工大和中國航天科技集團(tuán)共建的“空間環(huán)境地面模擬裝置”項(xiàng)目的部分核心項(xiàng)目設(shè)計(jì)，在超低溫，超高真空，自動(dòng)控制，激光模擬方面發(fā)揮SEMISHARE技術(shù)優(yōu)勢。

2019年

推出自主技術(shù)的X12半自動(dòng)探針臺(tái)，并獲得龍頭企業(yè)量產(chǎn)訂單。

2021年

推出自主技術(shù)的第二代A12全自動(dòng)探針臺(tái)。

SEMISHARE多年堅(jiān)守自主研發(fā)創(chuàng)新，現(xiàn)有100+項(xiàng)先進(jìn)半導(dǎo)體制造測試技術(shù)專利，40+項(xiàng)軟件著作。SEMISHARE通過持續(xù)投入和優(yōu)化研發(fā)布局，不斷提高產(chǎn)品的核心競爭力。SEMISHARE每年持續(xù)將15%的費(fèi)用投入到技術(shù)研發(fā)、實(shí)驗(yàn)設(shè)備的改造更新和技術(shù)人才的引進(jìn)。

目前，公司研發(fā)中心下設(shè)機(jī)械結(jié)構(gòu)，光學(xué)，軟件，電氣、測試應(yīng)用5大研發(fā)系統(tǒng)，技術(shù)團(tuán)隊(duì)近70人。同時(shí)SEMISHARE與(浙江大學(xué)、北京大學(xué))等科研機(jī)構(gòu)保持緊密的技術(shù)合作，通過產(chǎn)學(xué)研的互動(dòng)結(jié)合機(jī)制，全面提升SEMISHARE在行業(yè)的技術(shù)研發(fā)能力和創(chuàng)新能力。

經(jīng)過11年的研發(fā)沉淀，SEMISHARE擁有市場上最全面的探針臺(tái)產(chǎn)品線。以自主創(chuàng)新技術(shù)為驅(qū)動(dòng)，不斷推動(dòng)產(chǎn)品升級(jí)迭代，持續(xù)研發(fā)推出旗下兩大測試測量系列產(chǎn)品，并涵蓋手動(dòng)、半自動(dòng)、全自動(dòng)、高低溫、真空、磁場、光電等同步全球先進(jìn)測試技術(shù)的晶圓探針臺(tái)與激光面板修復(fù)設(shè)備，為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)各大主流領(lǐng)域廠商、高校實(shí)驗(yàn)室與科研研究所提供精準(zhǔn)、高效、可靠的測試測量設(shè)備與技術(shù)解決方案。

“欲求其上，必求上上。”SEMISHARE通過標(biāo)準(zhǔn)化控制與技能知識(shí)等體系程序管理，對(duì)公司研發(fā)，設(shè)計(jì)，工藝，制造，質(zhì)量控制等過程獲得最佳做法進(jìn)行識(shí)別，形成文件，定期評(píng)審確認(rèn)，并進(jìn)行有效應(yīng)用和保護(hù)，從而改進(jìn)和提升公司研發(fā)，設(shè)計(jì)，工藝，制造，質(zhì)量控制等諸方面的水平，達(dá)到最佳的過程效率，產(chǎn)品質(zhì)量，成本和交期的績效。

SEMISHARE不斷整合資源圍繞以技術(shù)研發(fā)、產(chǎn)品開發(fā)、智能制造、市場服務(wù)等多方面進(jìn)行精細(xì)化運(yùn)營管理提升，持續(xù)建立SEMISHARE在未來市場的核心優(yōu)勢。

無論是科研院校、研究所、芯片設(shè)計(jì)公司、晶圓廠、封測廠、面板廠等客戶，SEMISHARE都能靈活根據(jù)客戶實(shí)際需求，提供最為匹配的定制化的開發(fā)解決方案。

SEMISHARE的產(chǎn)品及解決方案已成功服務(wù)、應(yīng)用于超過1000家以上半導(dǎo)體企業(yè)或機(jī)構(gòu)。涵蓋科研院校、研究所、芯片設(shè)計(jì)公司、晶圓廠、封測廠、面板廠、等領(lǐng)域的世界500強(qiáng)企業(yè)及國內(nèi)知名企業(yè)。其中國內(nèi)半導(dǎo)體100強(qiáng)研發(fā)機(jī)構(gòu)中80%是SEMISHARE的戰(zhàn)略客戶。

SEMISHARE先后在深圳、香港、北京、上海、西安等城市設(shè)立了銷售服務(wù)網(wǎng)絡(luò)，逐步打造中國本土化企業(yè)的服務(wù)優(yōu)勢，以此快速響應(yīng)客戶需求并提供從端到端的營銷服務(wù)。

同時(shí)SEMISHARE在美國，英國，德國，希臘，澳大利亞，新加坡等國家取得了良好的市場業(yè)績，且市場口碑和品牌影響力正在逐年攀升。我們憑借優(yōu)越的產(chǎn)品性能贏得了眾多客戶的信賴，并和全球多家知名的科研院校建立了穩(wěn)定的市場合作關(guān)系。

面對(duì)全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈調(diào)整，危機(jī)與轉(zhuǎn)機(jī)并存。由于探針臺(tái)技術(shù)門檻高，研發(fā)周期長且投入成本大，全球高端探針臺(tái)市場仍主要被日韓等國所占據(jù)的現(xiàn)狀。借助機(jī)械探針臺(tái)領(lǐng)域多年的技術(shù)經(jīng)驗(yàn)，SEMISHARE早在2016年就展開了對(duì)全自動(dòng)晶圓探針臺(tái)項(xiàng)目的研發(fā)。

SEMISHARE先后在2019年、2020年接受了投資機(jī)構(gòu)的A、B輪融資，并逐步開始布局工業(yè)級(jí)晶圓探針臺(tái)領(lǐng)域市場。于2021年3月正式在國內(nèi)推出首款晶圓級(jí)全自動(dòng)A12探針臺(tái)，A12是一款12寸(兼容8寸)的高性能晶圓測試探針臺(tái)，設(shè)備可與不同類型的ATE測試機(jī)組合使用，通過讓探針卡與晶圓之間精準(zhǔn)接觸，實(shí)現(xiàn)晶圓級(jí)測試，該設(shè)備操作簡單并具有良好的機(jī)械穩(wěn)定性。

創(chuàng)新性的A12探針臺(tái)在晶圓自動(dòng)上下片裝載輸送、微米級(jí)全閉環(huán)運(yùn)動(dòng)控制、Wafer 自動(dòng)精準(zhǔn)對(duì)針、視覺自動(dòng)精確校準(zhǔn)、高速反饋通信、數(shù)據(jù)信息處理等技術(shù)方面作出了全新升級(jí)改進(jìn)，該設(shè)備提供一種全自動(dòng)晶圓級(jí)針測技術(shù)( 發(fā)明專利：201910551106.3)，是一款向下兼容處理12"/8"標(biāo)準(zhǔn)晶圓的WAT/CP測試設(shè)備，能為不同客戶提供一個(gè)經(jīng)濟(jì)且穩(wěn)定優(yōu)異的晶圓測試方案，滿足晶圓廠、封測廠等不同客戶的測試需求。

至今，中國已成為了集成電路最大的進(jìn)口者，年進(jìn)口額超過石油達(dá)2萬億人民幣。但國內(nèi)自主率芯片卻不到20%，而且國產(chǎn)設(shè)備參與生產(chǎn)制造過程也僅有10%。芯片是現(xiàn)代電子與信息技術(shù)的核心，關(guān)系到國家競爭力和信息安全。缺芯少魂卻一直是我國科技產(chǎn)業(yè)發(fā)展所面臨的困境。

SEMISHARE從創(chuàng)立之初，就已經(jīng)將“中國芯 騰飛夢(mèng)-助力中國制造自主領(lǐng)先的芯片，推動(dòng)全球半導(dǎo)體行業(yè)的整體發(fā)展。”作為使命，根植于SEMISHARE企業(yè)的DNA，堅(jiān)持自主技術(shù)的研發(fā)創(chuàng)新，旨在促進(jìn)半導(dǎo)體測試設(shè)備國產(chǎn)化的發(fā)展。

2021年7月28-30日，SEMISHARE將聯(lián)合半導(dǎo)體行業(yè)溫度管理領(lǐng)域的專家ERS共同參加第四屆深圳國際半導(dǎo)體展覽會(huì)SemiExpo，深圳會(huì)展中心(福田區(qū))，展位號(hào):1號(hào)館-A056。歡迎行業(yè)同仁前來切磋探討，攜手發(fā)展。