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我國(guó)傳感器行業(yè)進(jìn)入快速發(fā)展階段

MEMS ? 來源:電子信息產(chǎn)業(yè)網(wǎng) ? 作者:電子信息產(chǎn)業(yè)網(wǎng) ? 2021-03-26 15:24 ? 次閱讀

我國(guó)傳感器行業(yè)進(jìn)入快速發(fā)展階段

為適應(yīng)國(guó)家工業(yè)發(fā)展需要,特別是能源、化工、交通、航空航天等特殊領(lǐng)域針對(duì)傳感器的需求,從上世紀(jì)50年代起,國(guó)家先后組織一批國(guó)家級(jí)研究機(jī)構(gòu)、專業(yè)生產(chǎn)企業(yè)及部分重點(diǎn)高校共同針對(duì)工業(yè)傳感器進(jìn)行攻關(guān)和生產(chǎn)。在經(jīng)歷了幾代人、近半個(gè)多世紀(jì)的努力后,至今為止基本建成了具有中國(guó)特色的覆蓋全工業(yè)領(lǐng)域的工業(yè)傳感器體系。很多傳感器從無到有,相當(dāng)程度滿足了國(guó)家工業(yè)發(fā)展的需求。特別是上世紀(jì)“七五”期間,明確將敏感元件及傳感器列入國(guó)家攻關(guān)計(jì)劃,“八五”開始特別針對(duì)現(xiàn)代工業(yè)發(fā)展急需的力敏、熱敏、光敏、化學(xué)、電磁電量等各類工業(yè)傳感器進(jìn)行傳感器技術(shù)研究及共性技術(shù)研究專項(xiàng)攻關(guān),“九五”期間實(shí)施的微電子機(jī)械系統(tǒng)攀登計(jì)劃、集成微光機(jī)電系統(tǒng)研究及“863”微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)重大專項(xiàng)研究,形成了涵蓋傳感器芯片、材料(半導(dǎo)體晶圓)、封裝測(cè)試、軟件處理及算法、應(yīng)用示范生產(chǎn)線在內(nèi)的傳感器科研與產(chǎn)業(yè)鏈,建成了包括國(guó)家級(jí)科研院所、傳感器國(guó)家工程研究中心、傳感器國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室等專業(yè)研發(fā)機(jī)構(gòu)和典型企業(yè)在內(nèi)的科研、中試、規(guī)?;a(chǎn)隊(duì)伍。在金屬薄膜應(yīng)變式力敏感元件及傳感器、薄膜磁敏感元件、硅霍爾開關(guān)器件、光電開關(guān)、NTC熱敏電阻和過載保護(hù)用PTC熱敏電阻、熱電偶、電化學(xué)傳感器及催化燃燒式氣體傳感器、硅基壓力敏感元器件及傳感器等很多領(lǐng)域取得巨大成就,一定程度上滿足了國(guó)內(nèi)快速發(fā)展的工業(yè)傳感器產(chǎn)業(yè)需求,形成了東北、環(huán)渤海地區(qū)、中原、西北、長(zhǎng)三角、閩粵珠三角等為核心的工業(yè)傳感器設(shè)計(jì)、研發(fā)、生產(chǎn)產(chǎn)業(yè)布局或集散中心。工業(yè)傳感器產(chǎn)品已經(jīng)覆蓋我國(guó)工業(yè)制造過程全產(chǎn)業(yè)。

“十二五”以來,隨著國(guó)家工業(yè)快速發(fā)展的需要、國(guó)家對(duì)工業(yè)傳感器越來越重視,相關(guān)傳感器的政策密集出臺(tái),政策環(huán)境越來越好。2011年工信部印發(fā)了《物聯(lián)網(wǎng)“十二五”發(fā)展規(guī)劃》,提出提升感知技術(shù)水平,重點(diǎn)支持超高頻和微波RFID標(biāo)簽、智能傳感器、嵌入式軟件的研發(fā),支持位置感知技術(shù)、基于MEMS的傳感器等關(guān)鍵設(shè)備的研制。傳感器作為物聯(lián)網(wǎng)重要的組成部分,被提到了新的高度。2013年,為進(jìn)一步增強(qiáng)傳感器產(chǎn)業(yè)的創(chuàng)新力和國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)力,推動(dòng)傳感器產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新、持續(xù)、協(xié)調(diào)發(fā)展,工信部、科技部、財(cái)政部及國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)組織制定了《加快推進(jìn)傳感器及智能化儀器儀表產(chǎn)業(yè)發(fā)展行動(dòng)計(jì)劃》。為傳感器及傳感器在工業(yè)領(lǐng)域應(yīng)用,加快傳感器及智能儀表快速發(fā)展給出了行動(dòng)時(shí)間表。密集的傳感器相關(guān)政策推動(dòng)了我國(guó)傳感器行業(yè)飛躍發(fā)展。

“十三五”期間,政府支持力度進(jìn)一步加大,工信部發(fā)布《關(guān)于開展工業(yè)強(qiáng)基2016專項(xiàng)行動(dòng)的通知》,提出組織實(shí)施“一攬子”突破行動(dòng),聯(lián)合多部委組織實(shí)施一批(傳感器)示范項(xiàng)目,重點(diǎn)支持機(jī)器人、高端傳感器、高端醫(yī)療設(shè)備部件、超級(jí)電容器等核心基礎(chǔ)零部件,重點(diǎn)圍繞新型材料、大數(shù)據(jù)、傳感器等提升產(chǎn)業(yè)技術(shù)基礎(chǔ)公共服務(wù)能力。同年國(guó)務(wù)院發(fā)布的“十三·五”國(guó)家科技創(chuàng)新規(guī)劃提出了構(gòu)建具有國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)力的十項(xiàng)現(xiàn)代產(chǎn)業(yè)技術(shù)體系,涉及包括新型傳感器的新一代信息技術(shù)、工業(yè)傳感器的智能綠色服務(wù)制造技術(shù)。2017年工信部出臺(tái)《智能傳感器三年(2017—2019)行動(dòng)指南》及《促進(jìn)新一代人工智能產(chǎn)業(yè)三年(2018—2020)行動(dòng)計(jì)劃》,從而直接催生了重大科學(xué)儀器及設(shè)備開發(fā)、制造基礎(chǔ)技術(shù)與關(guān)鍵部件研究?jī)纱髮m?xiàng)。2019年中央政治局會(huì)議提出要加快推進(jìn)新型基礎(chǔ)設(shè)施建設(shè)后,2020年8月國(guó)務(wù)院直接推出《新時(shí)期促進(jìn)集成電路產(chǎn)業(yè)和軟件產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展的若干政策》,針對(duì)我國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展從財(cái)稅政策、投融資政策、研究開發(fā)政策、進(jìn)出口政策、人才政策、知識(shí)產(chǎn)權(quán)政策、市場(chǎng)應(yīng)用政策、國(guó)際合作政策等全方位多方面提出部署,直接將當(dāng)前新時(shí)期新階段的集成電路產(chǎn)業(yè)和軟件產(chǎn)業(yè)發(fā)展推進(jìn)到一個(gè)全新的發(fā)展階段,為其他相關(guān)基礎(chǔ)產(chǎn)業(yè)發(fā)展起到了引領(lǐng)示范作用。

在一系列政策持續(xù)出臺(tái)的背景下,我國(guó)傳感器行業(yè)進(jìn)入快速發(fā)展階段。

形成了基本全覆蓋的產(chǎn)業(yè)布局、工業(yè)需求傳感器從自主到引進(jìn)全產(chǎn)業(yè)鏈覆蓋。中低檔產(chǎn)品滿足自給自足的前提下實(shí)現(xiàn)出口,設(shè)計(jì)、研發(fā)、應(yīng)用一條龍配套建設(shè)和水平得到普遍提升。

在快速發(fā)展的中國(guó)工業(yè)市場(chǎng),針對(duì)傳感器的需求已經(jīng)從原始的配套變成剛性需求,巨大的中國(guó)制造轉(zhuǎn)型升級(jí)帶來的市場(chǎng)吸引力不僅對(duì)國(guó)內(nèi)企業(yè),對(duì)國(guó)外工業(yè)傳感器龍頭企業(yè)也是巨大的吸引,美國(guó)艾默生、德國(guó)E+H、日本橫河等工業(yè)傳感器巨頭在中國(guó)市場(chǎng)的份額已經(jīng)成為其公司重要組成部分。

在政府支持和行業(yè)需求的雙層推動(dòng)下,我國(guó)工業(yè)傳感器已形成包括材料、器件、系統(tǒng)、網(wǎng)絡(luò)等全方面構(gòu)成的產(chǎn)業(yè)鏈模式,產(chǎn)業(yè)鏈規(guī)模、質(zhì)量也不斷得到提高和完善。據(jù)統(tǒng)計(jì),國(guó)內(nèi)具有一定規(guī)模的應(yīng)用于工業(yè)制造業(yè)的各類傳感器生產(chǎn)廠家約2000余家,產(chǎn)品基本覆蓋工業(yè)制造各領(lǐng)域。生產(chǎn)的各類工業(yè)用傳感器品種、規(guī)格約1.6萬種。已經(jīng)顯現(xiàn)出有區(qū)域特點(diǎn)的傳感器產(chǎn)業(yè)集群,重點(diǎn)集中在長(zhǎng)三角,并逐漸形成以北京、上海、南京、深圳、沈陽和西安等中心城市為輻射的區(qū)域布局。這些集群各有側(cè)重優(yōu)勢(shì),形成了我國(guó)較為完備的傳感器產(chǎn)業(yè)鏈。

諸多問題亟須突破

盡管取得不俗成績(jī),但我國(guó)工業(yè)基礎(chǔ)傳感器仍存在許多問題需要破解,主要表現(xiàn)在:

一是頂層設(shè)計(jì)仍缺乏統(tǒng)籌設(shè)計(jì),規(guī)范引導(dǎo)。工業(yè)傳感器在儀表行業(yè)是小行業(yè),在中國(guó)制造中更是小小行業(yè),但工業(yè)傳感器在制造強(qiáng)國(guó)戰(zhàn)略中卻有舉足輕重的地位。由于傳感器具有的專業(yè)分散和行業(yè)分屬的特點(diǎn),長(zhǎng)期以來在傳感器頂層始終缺乏統(tǒng)一的認(rèn)識(shí)、在傳感器行業(yè)始終缺乏統(tǒng)一的行業(yè)認(rèn)知。工業(yè)傳感器的發(fā)展、行業(yè)規(guī)劃如“九龍治水各自為政”,未按國(guó)家產(chǎn)業(yè)發(fā)展規(guī)劃的整體布局有序發(fā)展。雖然國(guó)家投資逐年加大、政策力度逐年增強(qiáng),但傳感器產(chǎn)業(yè)需要長(zhǎng)期不斷地培育養(yǎng)成的特點(diǎn)在(地方政府、企業(yè))急于求成、急功近利的作用下,想取得傳感器產(chǎn)業(yè)化的標(biāo)志性成果,往往事與愿違。

二是產(chǎn)業(yè)規(guī)模小,盈利能力低、核心技術(shù)缺乏。以壓力傳感器行業(yè)為例,國(guó)內(nèi)具有一定規(guī)模的生產(chǎn)廠商大約有千余家,其中民企數(shù)量約占企業(yè)總數(shù)的90%,已經(jīng)成為了中國(guó)工業(yè)壓力傳感器、變送器行業(yè)的與國(guó)外廠商爭(zhēng)奪國(guó)內(nèi)工業(yè)用壓力傳感器、變送器的市場(chǎng)主力軍。但這些企業(yè)年銷售額大于2000萬元的企業(yè)不足三成,七成以上的傳感器生產(chǎn)廠商為中小微企業(yè),產(chǎn)業(yè)規(guī)模很小,自身盈利能力也不強(qiáng)。由此而連鎖的企業(yè)核心技術(shù)、企業(yè)研發(fā)能力、企業(yè)核心競(jìng)爭(zhēng)力嚴(yán)重不足或缺乏。

統(tǒng)計(jì)國(guó)內(nèi)主要傳感器廠商的產(chǎn)品分析也可以發(fā)現(xiàn),目前國(guó)內(nèi)廠商生產(chǎn)的壓力傳感器,70%以上是常規(guī)應(yīng)變式、濺射薄膜式等傳感器產(chǎn)品,30%左右為陶瓷材料為主的低端產(chǎn)品,產(chǎn)品結(jié)構(gòu)相對(duì)單一。

三是共性化問題多,產(chǎn)業(yè)化問題多。

由于基礎(chǔ)研究乏力,長(zhǎng)期在“市場(chǎng)換技術(shù)”的“快錢效應(yīng)”指引下,近幾十年來新產(chǎn)品新技術(shù)多停留在國(guó)外樣品(樣機(jī))分析測(cè)繪的“模仿”,自主特色的技術(shù)突破產(chǎn)品鳳毛麟角。

共性關(guān)鍵技術(shù),如可靠性技術(shù)研究尚待突破。國(guó)外典型流程工業(yè)高端典型傳感器在上世紀(jì)末已實(shí)現(xiàn)五年免調(diào)校,但國(guó)內(nèi)相關(guān)產(chǎn)品免調(diào)校功能還在推廣驗(yàn)證中。工業(yè)傳感器共性技術(shù)如材料、設(shè)備、方法、可靠性驗(yàn)證分析等基礎(chǔ)理論的研究與發(fā)展同國(guó)外發(fā)達(dá)國(guó)家的差距仍然巨大。

四是工業(yè)傳感器核心敏感技術(shù)產(chǎn)業(yè)化缺“芯”嚴(yán)重。盡管傳統(tǒng)的工業(yè)傳感器如應(yīng)變、電感、電容、光柵、稱重、位移量、位置量、金屬彈性器件等年產(chǎn)量居世界領(lǐng)先地位,有些甚至已經(jīng)實(shí)現(xiàn)出口。但是對(duì)于高端工業(yè)傳感器,尤其是高端制造的重點(diǎn)領(lǐng)域、重點(diǎn)行業(yè)、重大工程用配套工業(yè)傳感器基本上100%依靠進(jìn)口。即使國(guó)內(nèi)生產(chǎn),也僅僅停留在研究、樣機(jī)、小批量中試階段,相關(guān)傳感器核心技術(shù)(器件)的產(chǎn)業(yè)化仍然“路漫漫”,嚴(yán)重制約我國(guó)工業(yè)的快速發(fā)展及工業(yè)制造的“自主可控”。如:國(guó)內(nèi)硅基MEMS壓力傳感器全產(chǎn)業(yè)基本處于封裝代工階段,從普通硅基壓力傳感器、OEM硅基壓力傳感器到流程工業(yè)高端設(shè)備控制用變送器,核心硅基敏感芯片基本上全部進(jìn)口,國(guó)內(nèi)自主配套不足1%;高端智能制造、CNC數(shù)控機(jī)床、大型工程機(jī)械等配套需求的位置、壓力、圖像、慣性器件等傳感器以歐美日或歐美日在國(guó)內(nèi)的合資企業(yè)壟斷;國(guó)內(nèi)工業(yè)基礎(chǔ)氣體傳感器主要集中在中低端的催化燃燒式、電化學(xué)式、紅外式、以及MOS氣體傳感器階段,僅有少量高端的激光紅外氣體傳感器及光離子化PID氣體傳感器在工業(yè)制造領(lǐng)域使用。新產(chǎn)品、新技術(shù)的工業(yè)氣體傳感器產(chǎn)業(yè)化落后國(guó)際先進(jìn)水平至少五年左右。MEMS硅基壓力傳感器核心敏感元器件、高端氣體傳感器敏感芯片等雖然完成技術(shù)攻關(guān),但產(chǎn)業(yè)化配套基本為零,國(guó)內(nèi)產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)敏感核心器件及傳感器高端市場(chǎng)基本上全部依賴進(jìn)口。國(guó)內(nèi)工業(yè)傳感器主要集中在中低端制造業(yè)市場(chǎng)。高端應(yīng)用的產(chǎn)業(yè)化發(fā)展空“芯”化問題已經(jīng)成為制約中國(guó)制造由大到強(qiáng)的關(guān)鍵阻礙。

五是針對(duì)工業(yè)傳感器的數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)嚴(yán)重“失真”。國(guó)內(nèi)對(duì)于工業(yè)傳感器產(chǎn)業(yè)進(jìn)行分析時(shí),都是以傳感器這一大概念進(jìn)行,“泛”傳感器的數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)方式導(dǎo)致大量非工業(yè)領(lǐng)域傳感器數(shù)據(jù)被采集,工業(yè)傳感器數(shù)據(jù)的真實(shí)度嚴(yán)重失真,對(duì)頂層設(shè)計(jì)和真正認(rèn)識(shí)工業(yè)傳感器現(xiàn)狀毫厘千里、弊端無限。

努力建成工業(yè)傳感器“一條龍”生態(tài)

1、以德國(guó)X-Fab的精、專、特標(biāo)準(zhǔn)化核心器件產(chǎn)業(yè)基地為對(duì)標(biāo),建成力、熱、磁、氣核心器件專業(yè)定點(diǎn)產(chǎn)線,實(shí)現(xiàn)國(guó)內(nèi)工業(yè)基礎(chǔ)傳感器基礎(chǔ)核心器件成果產(chǎn)業(yè)化轉(zhuǎn)移,配套快速發(fā)展的中國(guó)制造業(yè)對(duì)傳感器的需求特別是核心器件的需求。

工業(yè)基礎(chǔ)傳感器是制造工業(yè)的基礎(chǔ),首先解決當(dāng)前產(chǎn)業(yè)急需的核心器件產(chǎn)業(yè)化問題,完善從材料、制造、銷售、使用的一條龍產(chǎn)業(yè)生態(tài),徹底解決國(guó)內(nèi)工業(yè)基礎(chǔ)傳感器有“器”無“芯”的尷尬局面,真正實(shí)現(xiàn)工業(yè)基礎(chǔ)傳感器對(duì)國(guó)家工業(yè)基礎(chǔ)的基石和支撐作用,形成分工明確、配套清晰的產(chǎn)業(yè)化發(fā)展鏈條。建成中國(guó)的X-Fab專業(yè)產(chǎn)線。

標(biāo)準(zhǔn)化定點(diǎn)專業(yè)產(chǎn)線不僅要求有良好潔凈的工作環(huán)境,更需要清晰的產(chǎn)品(不可唯利是圖),清晰的工藝管控、素質(zhì)技能穩(wěn)定的管理管控團(tuán)隊(duì)。做到環(huán)境、產(chǎn)品、工藝、管控四“凈”。

2、集中開展傳感器跨學(xué)科培養(yǎng),在人才評(píng)價(jià)、人才團(tuán)隊(duì)建設(shè)樹立領(lǐng)軍人物,培養(yǎng)高端扛旗幟的企業(yè);在標(biāo)準(zhǔn)、可靠性、專利等多角度加大獎(jiǎng)勵(lì)制度,推動(dòng)人才隊(duì)伍快速成長(zhǎng)。

繼續(xù)加大、做強(qiáng)重大基礎(chǔ)理論與實(shí)驗(yàn)研究及傳感器領(lǐng)域人才培養(yǎng)與儲(chǔ)備,傳感器設(shè)計(jì)方法與關(guān)鍵制作技術(shù)研究,鼓勵(lì)高等院校、科研機(jī)構(gòu)根據(jù)需求和自身特色,聯(lián)合公共服務(wù)平臺(tái)和企業(yè),建設(shè)跨學(xué)科的智能傳感器綜合人才培養(yǎng)基地,為企業(yè)輸送高層次工藝人才和技術(shù)創(chuàng)新人才。鼓勵(lì)示范性微電子學(xué)院和儀器學(xué)院的人才培養(yǎng)向智能傳感器方向傾斜。積極引進(jìn)海外領(lǐng)軍人才和高端技術(shù)人才,持續(xù)優(yōu)化人才環(huán)境,支持相關(guān)技術(shù)中心、孵化創(chuàng)業(yè)中心等建設(shè),為高端人才集聚提供載體。建立應(yīng)用型人才良性評(píng)價(jià)機(jī)制,加大對(duì)應(yīng)用性基礎(chǔ)研究的引導(dǎo)力度,建立產(chǎn)、學(xué)、研良好生態(tài)。

3、從材料、制造、銷售龍頭抓起,建成工業(yè)傳感器“一條龍”生態(tài)。健全分工清晰明確的工業(yè)傳感器生態(tài)鏈,實(shí)現(xiàn)傳感器工業(yè)“基石”的支撐作用。

加大流程工業(yè)用力、熱、磁、流量、環(huán)境氣體安全檢測(cè)傳感器和離散傳感器產(chǎn)業(yè)基地建設(shè),形成流程工業(yè)、離散工業(yè)傳感器精、專、特、新的產(chǎn)業(yè)布局,培養(yǎng)一批各自的產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域的隱形冠軍。針對(duì)隱形冠軍培養(yǎng)在市場(chǎng)、技術(shù)、團(tuán)隊(duì)從不同角度給予政策支持,設(shè)立專項(xiàng)資金對(duì)技術(shù)創(chuàng)新型企業(yè)進(jìn)行扶持,在功能工業(yè)傳感器生態(tài)鏈上培養(yǎng)領(lǐng)軍企業(yè)。

4、加大對(duì)傳感器中、小微企業(yè)知識(shí)成果及科研成果保護(hù),鼓勵(lì)企業(yè)技術(shù)創(chuàng)新,積極開展共性關(guān)鍵技術(shù)、基礎(chǔ)工藝技術(shù)的研究,降低企業(yè)科研成果轉(zhuǎn)化風(fēng)險(xiǎn),開展新型一體化智能工業(yè)傳感器研究,提倡建設(shè)工業(yè)傳感器小微企業(yè)的技術(shù)隱形冠軍。

加大國(guó)家對(duì)于傳感器產(chǎn)業(yè)化方面的投入,鼓勵(lì)建設(shè)產(chǎn)業(yè)集聚園區(qū)和公共創(chuàng)新平臺(tái),加速新設(shè)計(jì)、新工藝導(dǎo)入。加強(qiáng)對(duì)共性關(guān)鍵技術(shù)、基礎(chǔ)工藝技術(shù)研究的投入,在政策、制度、資金等給予傾斜,縮短技術(shù)向產(chǎn)品轉(zhuǎn)化的周期。強(qiáng)化市場(chǎng)應(yīng)用對(duì)產(chǎn)業(yè)的需求牽引作用,鼓勵(lì)應(yīng)用廠商通過商業(yè)合作、投資入股等方式參與智能傳感器的研發(fā)與制造,整合產(chǎn)業(yè)鏈上下游。支持科研院所和高等院校開展智能傳感器關(guān)鍵技術(shù)和基礎(chǔ)理論研究、關(guān)鍵芯片開發(fā),提升產(chǎn)品的集成化、智能化水平,加強(qiáng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)保護(hù),鼓勵(lì)科研成果轉(zhuǎn)化。鼓勵(lì)開展新型工業(yè)傳感器一體化及技術(shù)及應(yīng)用研究,在感知、控制、通訊、算法、智能化、網(wǎng)絡(luò)化應(yīng)用開展工作,滿足新一代工業(yè)傳感器需求。

5、以市場(chǎng)需求為引領(lǐng),產(chǎn)品質(zhì)量為準(zhǔn)入門檻,企業(yè)對(duì)自身產(chǎn)品的質(zhì)量責(zé)任保障為前提,從政策面給予工業(yè)傳感器在國(guó)家重點(diǎn)行業(yè)、重點(diǎn)領(lǐng)域、重大工程中的配套使用力度,給予國(guó)貨配套更優(yōu)惠條件,在工業(yè)傳感器應(yīng)用領(lǐng)域落實(shí)并加大力度實(shí)施國(guó)家“政府采購法”和“國(guó)貨優(yōu)先”政策。保障工業(yè)傳感器在中國(guó)制造的發(fā)展過程中同步快速成長(zhǎng)。

6、針對(duì)傳感器的泛在性和工業(yè)傳感器的特殊性,在數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)、分析和政策制定上加強(qiáng)統(tǒng)計(jì)的準(zhǔn)確性和合理性,避免出現(xiàn)一葉障目,導(dǎo)致數(shù)據(jù)失誤帶來的不良后果,為工業(yè)傳感器發(fā)展提供準(zhǔn)確依據(jù)。

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原文標(biāo)題:我國(guó)工業(yè)基礎(chǔ)傳感器急需破解核心器件產(chǎn)業(yè)化難題

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