“硅基MEMS壓電薄膜及器件關(guān)鍵技術(shù)與平臺(tái)”的項(xiàng)目啟動(dòng)會(huì)

2021年3月20日，國(guó)家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃“制造基礎(chǔ)技術(shù)與關(guān)鍵部件”重點(diǎn)專(zhuān)項(xiàng)項(xiàng)目“硅基MEMS壓電薄膜及器件關(guān)鍵技術(shù)與平臺(tái)”的項(xiàng)目啟動(dòng)會(huì)在諾思（天津）微系統(tǒng)有限責(zé)任公司隆重召開(kāi)。工信部領(lǐng)導(dǎo)、專(zhuān)家委員會(huì)專(zhuān)家、中心推薦專(zhuān)家、MEMS傳感器領(lǐng)域?qū)＜遥旖蚴泄ば啪帧?a href="http://www.wenjunhu.com/v/" target="_blank">科技局、經(jīng)開(kāi)區(qū)電子局及天津大學(xué)精儀學(xué)院相關(guān)領(lǐng)導(dǎo)，武漢大學(xué)、中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué)、華中科技大學(xué)、國(guó)家納米科學(xué)中心及天津大學(xué)等項(xiàng)目合作單位及課題組成員代表五十余人蒞臨諾思公司參會(huì)。與會(huì)專(zhuān)家對(duì)諾思公司牽頭承擔(dān)該項(xiàng)目獲批國(guó)家立項(xiàng)均表示祝賀，認(rèn)真聽(tīng)取了諾思公司發(fā)展歷程及遠(yuǎn)景規(guī)劃的報(bào)告，對(duì)項(xiàng)目的各子課題開(kāi)題報(bào)告及總體組織與管理進(jìn)行了充分討論，對(duì)牽頭承擔(dān)單位諾思公司進(jìn)行了參觀和深入調(diào)研，項(xiàng)目啟動(dòng)會(huì)獲得圓滿(mǎn)成功。

“硅基MEMS壓電薄膜及器件關(guān)鍵技術(shù)與平臺(tái)”項(xiàng)目啟動(dòng)會(huì)現(xiàn)場(chǎng)

作為項(xiàng)目牽頭承擔(dān)單位代表，諾思（天津）微系統(tǒng)有限責(zé)任公司董事長(zhǎng)、總經(jīng)理及首席科學(xué)家向與會(huì)領(lǐng)導(dǎo)、專(zhuān)家及項(xiàng)目成員單位同仁表示熱烈歡迎，并詳細(xì)介紹了諾思的發(fā)展和近況。項(xiàng)目負(fù)責(zé)人對(duì)本項(xiàng)目立項(xiàng)情況進(jìn)行了介紹，并表示各課題組參與單位將在未來(lái)三年將基于項(xiàng)目要求與諾思開(kāi)展深入合作。

在技術(shù)方面，諾思核心研發(fā)團(tuán)隊(duì)發(fā)展出全新的ICBAR技術(shù)路線，具有獨(dú)特性能優(yōu)勢(shì)；在BAW領(lǐng)域已申請(qǐng)的國(guó)內(nèi)發(fā)明專(zhuān)利達(dá)316項(xiàng)，PCT專(zhuān)利130項(xiàng)，并在濾波器設(shè)計(jì)、器件結(jié)構(gòu)、工藝、封裝等多方面建立起強(qiáng)有力的技術(shù)壁壘。諾思已研發(fā)完成下一代更低成本、更高性能、更高功率的解決方案，產(chǎn)品線全面覆蓋4G/5G頻段，實(shí)測(cè)性能優(yōu)良，解決了技術(shù)上的“卡脖子”問(wèn)題。

在生產(chǎn)運(yùn)營(yíng)方面，經(jīng)過(guò)前期良率爬坡、量產(chǎn)積累過(guò)程，諾思現(xiàn)已成為國(guó)內(nèi)唯一具備大規(guī)模穩(wěn)定交付能力、產(chǎn)品種類(lèi)齊全、生產(chǎn)良率穩(wěn)定、質(zhì)量和可靠性已獲客戶(hù)驗(yàn)證的高端BAW芯片供應(yīng)商，為全面國(guó)產(chǎn)替代做好了充分準(zhǔn)備。當(dāng)前，公司量產(chǎn)交付已上新的臺(tái)階，產(chǎn)線滿(mǎn)產(chǎn)且7 x 24小時(shí)運(yùn)行，客戶(hù)訂單供不應(yīng)求。未來(lái)3年內(nèi)的主要需求是進(jìn)一步擴(kuò)充量產(chǎn)產(chǎn)能，目標(biāo)達(dá)到年產(chǎn)20億顆芯片的產(chǎn)能規(guī)模，從而真正解決高端射頻濾波芯片的國(guó)產(chǎn)供應(yīng)難題。

工信部與會(huì)領(lǐng)導(dǎo)在講話(huà)中對(duì)項(xiàng)目的立項(xiàng)背景和要求做了介紹，并對(duì)牽頭單位諾思公司的準(zhǔn)備工作表示認(rèn)可，強(qiáng)調(diào)了諾思在項(xiàng)目過(guò)程中承擔(dān)的法人管理職責(zé)?！肮杌鵐EMS壓電薄膜及器件關(guān)鍵技術(shù)與平臺(tái)”是國(guó)家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃“制造基礎(chǔ)技術(shù)與關(guān)鍵部件”的立項(xiàng)項(xiàng)目之一，針對(duì)5G/6G無(wú)線通訊、物聯(lián)網(wǎng)等對(duì)射頻濾波器、智能傳感器提出新的技術(shù)要求，對(duì)實(shí)現(xiàn)晶圓級(jí)硅基MEMS壓電器件的大規(guī)模生產(chǎn)、擺脫我國(guó)目前關(guān)鍵MEMS壓電器件受制于人的局面，具有重要而深遠(yuǎn)的意義。

天津市科技局領(lǐng)導(dǎo)表達(dá)了市級(jí)主管部門(mén)對(duì)諾思的大力支持以及對(duì)保證項(xiàng)目順利實(shí)施完成的信心，并對(duì)諾思作為天津高新技術(shù)企業(yè)的代表，在射頻濾波芯片領(lǐng)域聚焦研發(fā)，率先解決了“卡脖子”技術(shù)難題，取得的成績(jī)倍感振奮與鼓舞。他代表市科技局，希望借助國(guó)家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃項(xiàng)目的契機(jī)，形成對(duì)產(chǎn)業(yè)化平臺(tái)發(fā)展的新的推動(dòng)力。

專(zhuān)家委員會(huì)首席責(zé)任專(zhuān)家在會(huì)議上對(duì)諾思的技術(shù)研發(fā)和量產(chǎn)能力給予了高度評(píng)價(jià)。首席專(zhuān)家指出，諾思花費(fèi)多年心血建設(shè)成的這條6英寸硅基MEMS濾波芯片生產(chǎn)線，對(duì)于國(guó)內(nèi)射頻前端產(chǎn)業(yè)鏈的完整性和安全性，有著至關(guān)重要的意義。希望諾思繼續(xù)發(fā)揮量產(chǎn)平臺(tái)優(yōu)勢(shì)，與國(guó)內(nèi)高校和科研院所實(shí)現(xiàn)聯(lián)動(dòng)效應(yīng)，培養(yǎng)一支能夠有效支持產(chǎn)線運(yùn)營(yíng)、并將產(chǎn)品推向市場(chǎng)應(yīng)用的高級(jí)人才隊(duì)伍，為MEMS領(lǐng)域的前沿成果落地和產(chǎn)業(yè)持續(xù)發(fā)展做出更大的貢獻(xiàn)。

其他眾多行業(yè)知名專(zhuān)家也出席會(huì)議并對(duì)此項(xiàng)目的意義和實(shí)施方案發(fā)表了重要意見(jiàn)。

責(zé)任編輯：lq