德國米銥針改進(jìn)型ILD1800-2激光傳感器的特點及應(yīng)用實例

雙面覆銅板在線測厚，考慮到在線傳送時覆銅板上下竄動帶來的測量誤差，應(yīng)在測厚點上下安裝兩個傳感器。如下示意圖

雙面覆銅板測厚早期用電容式傳感器。它的優(yōu)點是表面色斑，表面微觀溝槽不影響測量結(jié)果，其缺點是傳感器頭與被測面間隙很小，且受間隙中介質(zhì)變化而影響精度。對安裝調(diào)校的環(huán)境要求很高，使用受到限制。而最致命的缺點是電容式傳感器是面積效應(yīng)，它測的是大于面積5㎜處的平均厚度。這對精密到某一點的板厚測量是很大的缺陷。

于是激光位移傳感器受到重視，因為傳感器安裝距離遠(yuǎn)，環(huán)境要求并不高，而且基本上是一個點的測厚。適于精密到某一點的板厚測量。問題是，一般慢反射激光傳感器對表面色斑的敏感，以及幾十個微米直徑的光斑對表面微觀溝槽敏感使板厚測量困難重重。

德國米銥針對上述問題，對ILD1800激光傳感器進(jìn)行實質(zhì)性的創(chuàng)性。其中用同期補(bǔ)光核心技術(shù)使色斑敏感降為零，以及改進(jìn)透視鏡使光斑直徑增大到300微米，抑制了微觀表面溝槽影響。加上原ILD1800可同步掃描功能，使同一測量上下兩個傳感器能同步掃描，完全避免覆銅板在線傳送時上下竄動帶來的測量誤差，以及保證兩個傳感器同步測量覆銅板同一個點的厚度。

以下是臺灣景揚(yáng)公司應(yīng)用德國米銥測試技術(shù)公司改進(jìn)型ILD1800-2（100）激光傳感器成功案例：

PCB板厚儀技術(shù)指標(biāo)：

下圖表是800個測點數(shù)據(jù)最大厚度誤差0.9微米記錄

PCB板厚儀外觀圖

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