蕪湖第三代半導(dǎo)體工程中心SiC和GaN器件產(chǎn)線(xiàn)全面貫通

2020年9月28日上午，蕪湖第三代半導(dǎo)體工程中心SiC和GaN器件產(chǎn)線(xiàn)全面貫通，安徽省科技廳羅平廳長(zhǎng)、安徽省經(jīng)信廳劉一成巡視員、清華大學(xué)微納電子系主任&微電子學(xué)研究所所長(zhǎng)吳華強(qiáng)，蕪湖市委書(shū)記潘朝暉、市長(zhǎng)單向前、副書(shū)記馮克金、常務(wù)副市長(zhǎng)寧波、高新區(qū)黨工委書(shū)記&主任黃維群、啟迪控股常務(wù)副總裁趙東和來(lái)自全國(guó)各地的200余位嘉賓出席了激動(dòng)人心的產(chǎn)線(xiàn)啟動(dòng)儀式，儀式由啟迪控股副總裁、啟迪新材料集團(tuán)董事長(zhǎng)、啟迪半導(dǎo)體董事長(zhǎng)趙清主持。

產(chǎn)線(xiàn)啟動(dòng)儀式現(xiàn)場(chǎng)

蕪湖第三代半導(dǎo)體工程中心自2017年6月啟動(dòng)建設(shè)。啟迪新材料集團(tuán)和蕪湖市建設(shè)投資有限公司通力合作，在蕪湖市委、市政府和高新區(qū)管委會(huì)以及發(fā)改委、科技局、經(jīng)信局等相關(guān)部門(mén)的大力支持下，歷時(shí)三年多，完成了2.3萬(wàn)平方米的廠(chǎng)房，8200平米的潔凈間建設(shè)，以及360余臺(tái)套核心工藝設(shè)備的采購(gòu)、安裝和調(diào)試，終于迎來(lái)了全線(xiàn)貫通的歷史性時(shí)刻！

與此同時(shí)，蕪湖第三代半導(dǎo)體工程中心匯聚了眾多化合物半導(dǎo)體工藝研發(fā)和生產(chǎn)的精英，形成了一支超過(guò)200人的包含外延材料、器件研發(fā)、工藝、設(shè)備、質(zhì)量控制等方向的全方位人才隊(duì)伍，其中科研人員占比達(dá)70%。團(tuán)隊(duì)已申請(qǐng)專(zhuān)利超80項(xiàng)，掌握了以碳化硅（SiC）和氮化鎵（GaN）為代表的第三代半導(dǎo)體器件生產(chǎn)的核心技術(shù)。

羅平在講話(huà)中說(shuō)，近年來(lái)，蕪湖市深入實(shí)施創(chuàng)新驅(qū)動(dòng)發(fā)展戰(zhàn)略，全力推進(jìn)國(guó)家自主創(chuàng)新示范區(qū)和國(guó)家創(chuàng)新型城市建設(shè)，努力在下好創(chuàng)新“先手棋”上走在前列，在全省乃至長(zhǎng)三角創(chuàng)新版圖中的優(yōu)勢(shì)地位進(jìn)一步鞏固。第三代半導(dǎo)體工程中心是科技之花結(jié)出產(chǎn)業(yè)之果的典型示范，是“政產(chǎn)學(xué)研用”創(chuàng)新模式的典型實(shí)踐。此次通線(xiàn)的碳化硅器件線(xiàn)、氮化鎵器件線(xiàn)，必將為蕪湖市新能源汽車(chē)、航空、5G通信等新產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新發(fā)展注入強(qiáng)勁動(dòng)力。面向“十四五”，省科技廳將一如既往地支持蕪湖科技創(chuàng)新事業(yè)發(fā)展，支持蕪湖打造“四個(gè)名城”、建設(shè)長(zhǎng)三角城市群中具有更高能級(jí)的現(xiàn)代化大城市，在加快建設(shè)美好安徽上作出更大貢獻(xiàn)。

單向前指出，作為蕪湖市第三代半導(dǎo)體產(chǎn)品研發(fā)和代工生產(chǎn)的公共平臺(tái)，第三代半導(dǎo)體工程中心承載了蕪湖從傳統(tǒng)制造走向智能制造的厚望，是信息產(chǎn)業(yè)的基石，智能互聯(lián)的核芯。產(chǎn)線(xiàn)貫通后將步入新的歷史階段，蕪湖市政府將搶抓長(zhǎng)三角一體化發(fā)展機(jī)遇，全力推動(dòng)第三代半導(dǎo)體全產(chǎn)業(yè)鏈集群化發(fā)展，努力打造智造名城、創(chuàng)新名城、開(kāi)放名城、生態(tài)名城，加快建設(shè)長(zhǎng)三角城市群中具有更高能級(jí)的現(xiàn)代化大城市。

吳華強(qiáng)表示，第三代半導(dǎo)體是支撐未來(lái)5G通訊、航空航天、物聯(lián)網(wǎng)、互聯(lián)網(wǎng)、新能源汽車(chē)、大數(shù)據(jù)等產(chǎn)業(yè)發(fā)展的“核芯”，對(duì)支撐新興產(chǎn)業(yè)發(fā)展、提升傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)競(jìng)爭(zhēng)力、實(shí)現(xiàn)新舊動(dòng)能轉(zhuǎn)換具有重大的戰(zhàn)略意義。蕪湖市和啟迪從2017年開(kāi)始建設(shè)第三代半導(dǎo)體工程中心，具有極高的前瞻性和戰(zhàn)略眼光。相信蕪湖第三代半導(dǎo)體工程中心將會(huì)為蕪湖第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)聚集發(fā)展打下良好基礎(chǔ)，在蕪湖乃至安徽創(chuàng)造出一個(gè)戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)的新增長(zhǎng)點(diǎn)。清華大學(xué)微納電子系將全力支持工程中心建設(shè)，為蕪湖第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展提供更多的人才和技術(shù)支撐。

清華大學(xué)微電子學(xué)研究所吳華強(qiáng)所長(zhǎng)參觀(guān)

產(chǎn)線(xiàn)全面貫通后，蕪湖第三代半導(dǎo)體工程中心將具備從材料、芯片到模塊封裝與測(cè)試的整體化解決能力，可年產(chǎn)5萬(wàn)片碳化硅和氮化鎵晶圓，成為蕪湖市第三代半導(dǎo)體科技創(chuàng)新和研發(fā)制造高地。該中心將攜手產(chǎn)業(yè)鏈上下游企業(yè)共同打造第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新發(fā)展集群，輻射帶動(dòng)汽車(chē)功率電子、充電樁、5G基站設(shè)施等產(chǎn)業(yè)發(fā)展壯大。

9月28日下午，啟迪半導(dǎo)體主辦了2020中國(guó)（蕪湖）第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展論壇，邀請(qǐng)了張清純教授、于坤山秘書(shū)長(zhǎng)在內(nèi)的10位嘉賓從產(chǎn)業(yè)現(xiàn)狀趨勢(shì)、芯片設(shè)計(jì)思路、材料器件的研發(fā)、裝備國(guó)產(chǎn)化推進(jìn)、產(chǎn)線(xiàn)運(yùn)作模式、電力電子應(yīng)用、服務(wù)平臺(tái)打造、人才培養(yǎng)與合作等方面共議發(fā)展。啟迪半導(dǎo)體和第三代半導(dǎo)體工程中心希望通過(guò)此次發(fā)展論壇，進(jìn)一步加強(qiáng)業(yè)界互動(dòng)交流與協(xié)同合作，促進(jìn)人才積聚，整合核心資源，擴(kuò)大應(yīng)用場(chǎng)景，推進(jìn)“材料、工藝、裝備一體化”發(fā)展，加快裝備國(guó)產(chǎn)化的進(jìn)程，實(shí)現(xiàn)第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的全面突破，共同打造科技創(chuàng)新和制造研發(fā)高地，用“芯”構(gòu)筑未來(lái)。

張清純教授分享《碳化硅半導(dǎo)體材料與器件：技術(shù)現(xiàn)狀與發(fā)展趨勢(shì)》

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