ASML第一臺5nm多光束檢測器實(shí)現(xiàn)了怎樣的突破？

在制造廠中，開發(fā)、設(shè)計(jì)和構(gòu)建一條新的生產(chǎn)線時(shí)，計(jì)量是很重要的一個(gè)環(huán)節(jié)：分析制造過程中的步驟以確定生產(chǎn)如期進(jìn)行。計(jì)量使制造廠能辨別出機(jī)器是否能正常工作，也可以幫助描述最終產(chǎn)品的特性，關(guān)于合適的電壓/頻率等。如果晶圓特別差，則可以將其早點(diǎn)丟出這個(gè)循環(huán)，從而節(jié)省時(shí)間和資金。

和制造過程中其他步驟一樣，計(jì)量在工廠中很占時(shí)間和空間。為了實(shí)現(xiàn)將更好的***移動到EUV這個(gè)目標(biāo)，使其既能有更小的特征，又能加快每個(gè)芯片的制造，計(jì)量要做的兩個(gè)主要任務(wù)就是準(zhǔn)確的報(bào)告和吞吐量。這些機(jī)器吞吐量增加意味著給定運(yùn)行所需機(jī)器變少，而且過程節(jié)點(diǎn)步驟之間的延遲可以縮短。

ASML宣布其在多光束檢測工具系列上已取得重大突破。新的eScan1000將單光束掃描進(jìn)程優(yōu)化成9光束掃描進(jìn)程，ASML宣稱在線缺陷檢測應(yīng)用中，能使工具吞吐量提高600%。該工具適用于目前生產(chǎn)的所有主要進(jìn)程節(jié)點(diǎn)，包括5nm及更高工藝。

公司解釋道，新的eScan100工具擁有一個(gè)電子光學(xué)系統(tǒng)，能將初始光束分成許多細(xì)光束，同時(shí)收集并處理這些次級光束帶來的結(jié)果。這個(gè)工具還能將串?dāng)_限制在2%以下以保證成像質(zhì)量，并用高速模式增加整體吞吐量，而且新的電腦硬件加速處理次級光束數(shù)據(jù)比以前更快。它還能用于一系列波束電流，既能進(jìn)行物理缺陷檢查也能進(jìn)行電壓差別檢查。ASML宣傳的是它擁有一個(gè)缺陷檢測能力突出的專有數(shù)據(jù)庫，能檢測出許多傳統(tǒng)計(jì)量方法遺漏的缺陷。

據(jù)新聞報(bào)道，ASML在一周前已將首款eScan1000系統(tǒng)交給硅谷的一位特定客戶，在客戶現(xiàn)場進(jìn)行初步測試和認(rèn)證。但并沒有透露客戶是誰。

ASML期望擴(kuò)大eScan1000機(jī)器的應(yīng)用范圍以滿足特定客戶的要求，并表示會繼續(xù)開發(fā)能分更多光束和更廣光線分辨率的多光束技術(shù)。得知這個(gè)工具的重要性之后，我們有希望在今年晚些時(shí)候看到未來行業(yè)活動的產(chǎn)品路線圖。