化學機械拋光(CMP)是化學腐蝕與機械磨削相結(jié)合的一種拋光方法,是集成電路制造過程中實現(xiàn)晶圓表面平坦化的關鍵工藝。從CMP材料的細分市場來看,拋光液和拋光墊的市場規(guī)模占比最大。從全球企業(yè)競爭格局來看,全球拋光液和拋光墊市場長期被美國和日本企業(yè)所壟斷。未來,隨著國內(nèi)半導體市場不斷增長和國家政策對“半導體和集成電路”產(chǎn)業(yè)的支持,我國CMP拋光材料國產(chǎn)化、本土化的供應進程將加快。
1、拋光液和拋光墊是主要CMP材料
化學機械拋光(CMP)是化學腐蝕與機械磨削相結(jié)合的一種拋光方法,是集成電路制造過程中實現(xiàn)晶圓表面平坦化的關鍵工藝。CMP拋光材料具體可分為拋光液、拋光墊、調(diào)節(jié)器、清潔劑等。目前,拋光液和拋光墊的市場規(guī)模占比最大,2018年,拋光液和拋光墊占CMP拋光材料市場的比重分別為49%和33%。
2019年,全球拋光墊和拋光液的市場規(guī)模分別為7億美元和12億美元,較2018年有所增長。
2、全球市場被美、日企業(yè)壟斷
在企業(yè)競爭格局中,全球拋光液和拋光墊市場長期被美國和日本企業(yè)所壟斷,例如,在拋光液市場,美國Cabot公司的市場占有率達33%;在拋光墊市場,美國DOW公司的市場份額達79%。在我國,拋光液的進口依賴局面已由安集科技公司打破,鼎龍股份的拋光墊產(chǎn)品也在持續(xù)開拓市場。
3、國內(nèi)CMP材料市場迎來發(fā)展機遇
由于工藝制程和技術節(jié)點不同,每片晶圓在生產(chǎn)過程中都會經(jīng)歷幾道甚至幾十道CMP拋光工藝。隨著未來芯片尺寸不斷減小的趨勢,CMP拋光的步驟將不斷增加,對CMP材料的需求也將不斷增加。鑒于中國大陸已是全球最大的半導體市場,半導體材料作為半導體產(chǎn)業(yè)的重要組成,未來的發(fā)展?jié)摿薮蟆?/p>
同時,隨著國家政策對“半導體和集成電路”產(chǎn)業(yè)的支持,我國半導體材料國產(chǎn)化、本土化的供應進程將加快。2019年12月,據(jù)工信部發(fā)布的《重點新材料首批次應用示范指導目錄(2019年版)》顯示,在集成電路應用領域,CMP拋光液和CMP拋光墊均有入選:
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