長期以來,中國不僅在芯片設(shè)計和制造上落后于海外巨頭,底層原材料——硅片也是被“卡脖子”的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。如果能在這一賽道實現(xiàn)國產(chǎn)替代,不僅有助于降低國產(chǎn)芯片制造成本,而且在戰(zhàn)略上有助于構(gòu)建完整芯片產(chǎn)業(yè)鏈。
硅產(chǎn)業(yè)集團(tuán)是國內(nèi)領(lǐng)先的半導(dǎo)體硅片生產(chǎn)商。通過旗下子公司的技術(shù)研發(fā)和量產(chǎn)攻關(guān),如今不僅在200mm硅片達(dá)到國際先進(jìn)的水平,并且率先在中國大陸實現(xiàn)300mm硅片的大規(guī)模銷售。
硅片是芯片的原材料,出于經(jīng)濟(jì)性考慮,單個硅片面積越大,能切割出的芯片數(shù)量也就越多。如果中國廠商想在7nm甚至5nm制程的芯片上發(fā)力追趕,更大面積的硅片則是必不可少的原材料。硅產(chǎn)業(yè)實現(xiàn)300mm硅片國產(chǎn)商業(yè)化,對我國芯片制造產(chǎn)業(yè)國產(chǎn)替代意義重大。
不過,半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)具有明顯的周期性,硅片產(chǎn)業(yè)如今進(jìn)入了供過于求的調(diào)整期,客戶庫存高企,需求下滑。硅片產(chǎn)業(yè)2019年的銷量和銷售額雙雙下降。通過科創(chuàng)板募資,硅產(chǎn)業(yè)能否在逆周期繼續(xù)加大資本投入,趕上行業(yè)下一次回暖的東風(fēng)?
錯位競爭立足200mm硅片
由于起步較晚,中國在半導(dǎo)體行業(yè)的追趕之路,幾乎囊括產(chǎn)業(yè)鏈所有環(huán)節(jié),且非一日之功:在芯片設(shè)計等下游環(huán)節(jié),要面對發(fā)達(dá)國際廠商經(jīng)營多年構(gòu)筑的專利網(wǎng);在上游材料環(huán)節(jié),還需要填平制造工藝落后的鴻溝。
追溯到芯片制造工序的最上游,俗稱“晶圓”的半導(dǎo)體硅片,是制造芯片的原材料,也是中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈與國際先進(jìn)水平差距最大的環(huán)節(jié)之一。以硅片為基礎(chǔ),才能制作各種電路元件結(jié)構(gòu),從而讓硅片最終成為有特定電性功能的集成電路產(chǎn)品。
從沙石原料到冶金級硅、電子級硅,原材料被不斷提純,最后形成高純度的多晶硅。高純度的多晶硅還要通過熔化等工序,生長成單晶硅。之后,單晶硅在直拉法等工藝下形成單晶硅棒,再經(jīng)過切斷、滾磨、切片、倒角、拋光、激光刻等工序,形成硅片。
根據(jù)硅片的尺寸,主流產(chǎn)品可以分為150mm(6英寸)、200mm(8英寸)、300mm(12英寸)等。隨著芯片工藝制程的提升,出于成本的考慮,對硅片尺寸的要求也越來越高。通常情況下,90nm及以下制程的芯片主要使用300mm的硅片,而90nm以上制程主要使用200mm及以下尺寸的硅片。
經(jīng)過數(shù)十年的追趕,中國廠商不僅能夠勝任150mm硅片的制造,而且硅產(chǎn)業(yè)等行業(yè)中的佼佼者已經(jīng)在200mm尺寸達(dá)到了國際先進(jìn)水準(zhǔn),為我國在半導(dǎo)體關(guān)鍵材料實現(xiàn)國產(chǎn)替代立下了汗馬功勞。
成立于2015年的硅產(chǎn)業(yè)集團(tuán),通過入股、并購等戰(zhàn)略,在200mm及以下尺寸構(gòu)筑了完整的產(chǎn)品線,涵蓋拋光片、外延片和SOI硅片。
從工藝上看,拋光片需要滿足集成電路對硅片平整度越來越高的需求;外延片則是在拋光片的基礎(chǔ)上進(jìn)行外延生長,滿足特定器件的生產(chǎn)需求;SOI(Silicon-On-Insulator)硅片是在頂層硅和背襯底,引入一層氧化絕緣埋層,從而實現(xiàn)電路中元器件的介質(zhì)隔離,防止漏電。
通過技術(shù)合作、研發(fā)和投資等戰(zhàn)略,硅產(chǎn)業(yè)及其子公司在業(yè)務(wù)上實現(xiàn)了跨越式增長,技術(shù)上也形成了自己的優(yōu)勢,從國內(nèi)一眾廠商中脫穎而出。加上子公司新傲科技的業(yè)務(wù),硅產(chǎn)業(yè)在全球硅片市場銷售額占比達(dá)到2.18%,國內(nèi)市場占比在2018年達(dá)到26.32%。
2018年全球半導(dǎo)體硅片行業(yè)銷售額占比
對外并購、合作,是硅產(chǎn)業(yè)集團(tuán)掌握先進(jìn)技術(shù),實現(xiàn)快速增長的秘笈之一。2016年,硅產(chǎn)業(yè)收購Okmetic,將這家芬蘭晶圓廠商收入囊中,同時也掌握了其行業(yè)領(lǐng)先的拉晶技術(shù)。
拉晶是生產(chǎn)單晶硅的核心工序之一,拉晶的效率及中間產(chǎn)品技術(shù)指標(biāo)的穩(wěn)定性,將直接影響硅片的產(chǎn)出率和質(zhì)量。得益于拉晶技術(shù)的加持,Okmetic的收入增長率一直維持在15%以上,凈利潤也從2007年的0.79億元增長到2018年的1.28億元,成為硅產(chǎn)業(yè)業(yè)績增長的發(fā)動機(jī)。
2016年,硅產(chǎn)業(yè)入股Soitec,布局SOI硅片。后者不僅是全球第七大半導(dǎo)體硅片制造商,更是全球最大的SOI硅片制造商。同年,硅產(chǎn)業(yè)入股新傲科技,從而進(jìn)軍國內(nèi)的SOI硅片市場,如今已持有后者89.19%的股權(quán)。
在業(yè)務(wù)運(yùn)作上,新傲科技則與Soitec形成了協(xié)同,獲得Smart CutTM技術(shù)的授權(quán)。Smart CutTM是全球最先進(jìn)的薄膜SOI硅片生產(chǎn)工藝之一,其專利為Soitec所獨有,在全球范圍內(nèi)僅授權(quán)給信越化學(xué)、環(huán)球晶圓和新傲科技三家廠商。
通過與Soitec合作,新傲科技不僅成為中國大陸唯一具有Smart CutTM技術(shù)的企業(yè),擁有生產(chǎn)世界領(lǐng)先SOI硅片的能力,而且與Soitec的業(yè)務(wù)合作也逐漸緊密。根據(jù)新傲科技和Soitec在2014年簽訂的《許可及技術(shù)轉(zhuǎn)讓協(xié)議》,新傲科技采用Smart CutTM技術(shù)生產(chǎn)的SOI芯片除了賣給Soitec外,還可以賣給其他國內(nèi)客戶。
而在2018年的新約定中,新傲科技采用Smart CutTM技術(shù)生產(chǎn)的SOI芯片要先賣給Soitec,再由Soitec向第三方銷售。同時,新傲科技也向Soitec采購生產(chǎn)SOI硅片用的襯底片。
在商業(yè)模式上,硅產(chǎn)業(yè)充分利用高端細(xì)分市場小批量、多批次、產(chǎn)品種類多的采購特點,與行業(yè)龍頭形成錯位競爭,從而在200mm及以下的半導(dǎo)體硅片市場站穩(wěn)了腳跟。
國產(chǎn)突破,進(jìn)軍300mm大硅片
一般情況下,單晶硅棒的直徑由籽晶粒拉出速度和旋轉(zhuǎn)速度決定。結(jié)晶中旋轉(zhuǎn)速度越慢,直徑就越大,但同時會因為旋轉(zhuǎn)速度不穩(wěn)定而帶來晶格結(jié)構(gòu)上的缺陷。從技術(shù)角度來看,硅片的面積越大,技術(shù)難度也越高。
而從市場角度來看,提升半導(dǎo)體硅片的直徑,則是芯片制造商追逐摩爾定律的需要——根據(jù)摩爾定律,集成電路上所集成的晶體管數(shù)量,每隔18個月就要提升一倍,即集成電路增強(qiáng)一倍,成本下降一半。對于半導(dǎo)體硅片來說,其直徑越大,單片硅片的可生產(chǎn)芯片數(shù)量也就越多。
以300mm硅片與200mm硅片為例。盡管前者的直徑僅為后者的1.5倍,但實際面積則是后者的2.25倍。因為芯片多為矩形,更大尺寸的硅片浪費的邊緣也會越小。所以在同樣的工藝條件下,300mm硅片的可使用面積超過200mm兩倍以上,可使用率是后者的2.5倍左右。根據(jù)SEMI的統(tǒng)計,2018年全球300mm半導(dǎo)體硅片出貨面積占全部半導(dǎo)體硅片出貨面積的63.83%。
因此,隨著市場需求重心的轉(zhuǎn)移,中國廠商追趕的步伐也延伸至此,硅產(chǎn)業(yè)及其子公司上海新昇也不例外。上海新昇最早于2016年10月拉出第一根300mm單晶硅碇,并在次年打通了300mm半導(dǎo)體硅片全工藝流程,最終在2018年在中國大陸率先實現(xiàn)規(guī)模化銷售。
按照常規(guī)流程,半導(dǎo)體硅片在批量供貨前需要芯片制造企業(yè)的認(rèn)證,周期一般在9-18個月。上海新昇盡管進(jìn)入賽道的時間不長,如今已經(jīng)獲得了包括格羅方德、中芯國際在內(nèi)的49家客戶的認(rèn)證。
除了推進(jìn)客戶認(rèn)證,拓寬銷路外,硅產(chǎn)業(yè)背后的“國家隊”,也值得留意。硅產(chǎn)業(yè)及其子公司主要合作方為微系統(tǒng)所,后者是硅產(chǎn)業(yè)股東集團(tuán)的控股股東,同時也是新傲科技的發(fā)起人和第二大股東。
除了新傲科技與微系統(tǒng)所在SOI芯片上的研發(fā)合作外,上海新昇也與微系統(tǒng)共同承擔(dān)了“20-14nm技術(shù)節(jié)點300mm硅片研發(fā)”和“300mm單晶棒生長技術(shù)研發(fā)”兩大課題,進(jìn)一步提高自身在300mm硅片研發(fā)和制造的技術(shù)實力。
行業(yè)下行周期逆勢擴(kuò)張
半導(dǎo)體行業(yè)具有明顯的周期性,經(jīng)濟(jì)形勢轉(zhuǎn)好時,整個產(chǎn)業(yè)鏈則積極擴(kuò)充產(chǎn)能,然后為了攤薄擴(kuò)充產(chǎn)能的成本,提高產(chǎn)量,導(dǎo)致產(chǎn)品價格下跌。之后,供過于求的市場環(huán)境讓廠商們無利可圖,整個行業(yè)等待需求增長去消化產(chǎn)能,然后進(jìn)入下一個上升期。這也是為什么全球半導(dǎo)體硅片的出貨面積常年增長,銷售額反而存在波動周期的原因。
全球半導(dǎo)體硅片市場規(guī)模
而在2019年,行業(yè)進(jìn)入下行周期,出貨量和銷售額雙雙下滑。根據(jù)SEMI公布的數(shù)據(jù),2019年全球硅片出貨量同比下滑7%,銷售額則從113.8億美元降低到111.5億美元。
市場的轉(zhuǎn)冷,對巨頭們也產(chǎn)生了影響。除了信越化學(xué)和環(huán)球晶圓保持增長外,SUMCO、Siltronic和合晶科技的業(yè)績均有明顯下滑。全球硅片市場排名第二的SUMCO和第三的Siltronic均在經(jīng)營報告中指出:因為客戶庫存高企,而消化庫存需要一定的時間,所以預(yù)計行業(yè)會在2020年下半年回暖。
硅產(chǎn)業(yè)也受到波及,尤其是300mm硅片的下游需求萎縮,拖累了業(yè)績。2019年1-9月,硅產(chǎn)業(yè)的凈利潤由正轉(zhuǎn)負(fù),業(yè)績承壓,其中300mm硅片的產(chǎn)能利用率下滑至44.36%。
目前,前五大硅片廠商的市場占比已經(jīng)達(dá)到92.57%,硅產(chǎn)業(yè)在300mm硅片產(chǎn)品的技術(shù)指標(biāo)上仍存劣勢。已經(jīng)在200mm硅片站穩(wěn)腳跟的硅產(chǎn)業(yè),還需要更具競爭力的產(chǎn)品,才能把握住5G等新需求帶來的增長機(jī)遇。
在行業(yè)下行的周期中,除了等待整個產(chǎn)業(yè)鏈的復(fù)蘇外,別無他法。不過,科創(chuàng)板的募資,無疑給硅產(chǎn)業(yè)的追趕之路注入了一劑強(qiáng)心針。在競爭對手瑟縮不前的局面下,正是硅產(chǎn)業(yè)通過研發(fā)苦練內(nèi)功,提升產(chǎn)品技術(shù)指標(biāo)的良機(jī)。能否趕上下一輪行業(yè)復(fù)蘇的周期,就看今朝。
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