重大突破！中國研發(fā)高能離子注入機(jī)性能已達(dá)國際先進(jìn)水平

據(jù)業(yè)內(nèi)人士透露，中國知名電子企業(yè)中國電子科技集團(tuán)有限公司近日取得重大技術(shù)突破，其自主研發(fā)的高能離子注入機(jī)已成功實(shí)現(xiàn)百萬電子伏特高能離子加速，其性能達(dá)國際主流先進(jìn)水平。

據(jù)悉，目前國內(nèi)僅有少數(shù)幾家擁有自主研發(fā)離子注入機(jī)器的集團(tuán)或企業(yè)，中國電科有中科院背景，實(shí)力超級強(qiáng)大。

據(jù)筆者了解到，離子注入機(jī)是高壓小型加速器中的一種，應(yīng)用數(shù)量最多。它是由離子源得到所需要的離子，經(jīng)過加速得到幾百千電子伏能量的離子束流，用做半導(dǎo)體材料、大規(guī)模集成電路和器件的離子注入，還用于金屬材料表面改性和制膜等。

作為芯片生產(chǎn)過程中不可或缺的設(shè)備，離子注入機(jī)很貴，切大部分依賴進(jìn)口，如今的極技術(shù)突破具有非凡的意義。中國電科旗下電科裝備離子注入機(jī)總監(jiān)張叢表示，電科裝備將在年底前推出首臺高能離子注入機(jī)，實(shí)現(xiàn)中國芯片制造領(lǐng)域全系列離子注入機(jī)自主創(chuàng)新發(fā)展，并將為全球芯片制造企業(yè)提供離子注入機(jī)成套解決方案。

作為電子產(chǎn)業(yè)的重要機(jī)構(gòu)，中國電科總是能承擔(dān)重任，如北斗相關(guān)芯片研發(fā)也有它的身影。中電科通信子集團(tuán)54所和國基北方子集團(tuán)13所承擔(dān)天通一號移動(dòng)通信系統(tǒng)終端核心芯片組的技術(shù)攻關(guān)和產(chǎn)品研制工作。高性能的終端芯片組是制約衛(wèi)星通信系統(tǒng)建設(shè)、行業(yè)應(yīng)用和產(chǎn)業(yè)化的主要因素?！拔覀兓谧匝?，集成設(shè)計(jì)了基帶、射頻和功放核心芯片，擴(kuò)展了功能，形成了包括硬件、平臺、驅(qū)動(dòng)、應(yīng)用等在內(nèi)的完整的終端解決方案?！北敬渭夹g(shù)突破，再次增強(qiáng)中國芯片研發(fā)和崛起的信心。

據(jù)悉，中國電子科技集團(tuán)有限公司成立于2002年3月1日，成立18年多，是以原信息產(chǎn)業(yè)部直屬電子研究院所和高科技企業(yè)為基礎(chǔ)、組建而成的國有大型企業(yè)集團(tuán)，也是國家批準(zhǔn)的國有資產(chǎn)授權(quán)投資機(jī)構(gòu)之一，由國務(wù)院國有資產(chǎn)監(jiān)督管理委員會直接監(jiān)管。主要從事國家重要軍民用大型電子信息系統(tǒng)的工程建設(shè)，重大裝備、通信與電子設(shè)備、軟件和關(guān)鍵元器件的研究。