了解MEMS傳感器的基本流程和基本工藝

現(xiàn)任甘肅省科學(xué)院傳感技術(shù)研究所副所長(zhǎng)的宋玉哲，畢業(yè)時(shí)正值該院傳感技術(shù)研究所的轉(zhuǎn)型期和瓶頸期，急需能夠從事敏感材料的制備及其傳感性能研究方面的專業(yè)人才。

憑借身上那股不服輸?shù)暮輨艃?，在堆積如山的學(xué)術(shù)書籍和成百上千次的實(shí)驗(yàn)中取得了滿意的成果。他的同事們也經(jīng)常說，這項(xiàng)研究太難了，國(guó)內(nèi)也沒幾個(gè)能搞出來，都勸她不要那么拼命。對(duì)此，她總是微微笑道，“科研工作沒有豪言壯語(yǔ)和遠(yuǎn)大的理想抱負(fù)，有的只是踏踏實(shí)實(shí)、兢兢業(yè)業(yè)的工作態(tài)度和工作作風(fēng)” 。

2011年，在她的努力和帶領(lǐng)下確立了“MEMS傳感器”的研究方向，成立了MEMS研究室，從實(shí)驗(yàn)室的規(guī)劃建設(shè)，到前端自旋閥、磁隧道結(jié)的研制，直至成功研發(fā)出MEMS傳感器，前后堅(jiān)持了近6年。MEMS傳感器的研發(fā)成功，不僅僅只是一款傳感器的成果而已，而是標(biāo)志著傳感所打通了所有巨磁阻MEMS傳感器的基本流程和基本工藝，為后期其它MEMS傳感器的研制奠定了基礎(chǔ)。

近年來，傳感所以巨磁阻傳感器的研制為MEMS傳感器的研發(fā)突破口，不斷擴(kuò)展研究領(lǐng)域，宋玉哲著力于具有巨磁阻效應(yīng)的自旋閥和磁隧道結(jié)的研制，這兩類晶圓是巨磁阻傳感器研發(fā)最前端的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，該技術(shù)被跨國(guó)公司長(zhǎng)期壟斷，是國(guó)內(nèi)亟需解決的行業(yè)關(guān)鍵技術(shù)。

研制自旋閥的期間，恰逢宋玉哲的哺乳期，但她依舊克服了諸多困難，和研究室人員一起不分黑白和節(jié)假日的進(jìn)行技術(shù)攻關(guān)，從設(shè)備磨合和修正，到巨磁阻理論研究和制備技術(shù)研究，終于獲得了制備工藝穩(wěn)定、性能參數(shù)優(yōu)良、達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平的自旋閥晶圓。

宋玉哲孩子出生后剛過哺乳期，因?yàn)檠邪l(fā)國(guó)產(chǎn)磁隧道結(jié)項(xiàng)目的迫切需要，在科研和家庭之間，她帶著依依不舍的留戀，毅然投入到了項(xiàng)目的研發(fā)，將孩子托付給家里的老人照看，赴美國(guó)進(jìn)行歷時(shí)9個(gè)月的培訓(xùn)和技術(shù)深造?；貒?guó)以后，宋玉哲成功實(shí)現(xiàn)了國(guó)際領(lǐng)先的磁隧道結(jié)的制備。自旋閥和磁隧道結(jié)的成功研制，為后期巨磁阻MEMS傳感器的研制奠定了基礎(chǔ)。宋玉哲經(jīng)常給同事說：“對(duì)家里的老人和孩子，有時(shí)候心里也挺慚愧，但是一想到自己所從事的研究，會(huì)解決部分行業(yè)關(guān)鍵技術(shù)，心里也就好受多了”。

在進(jìn)行自旋閥和磁隧道結(jié)攻關(guān)的同時(shí)，宋玉哲又帶領(lǐng)研究室人員馬不停蹄的投入到了百級(jí)潔凈實(shí)驗(yàn)室的建設(shè)，從爭(zhēng)取實(shí)驗(yàn)室的建設(shè)經(jīng)費(fèi)，到實(shí)驗(yàn)室的規(guī)劃和設(shè)計(jì)，建設(shè)的招標(biāo)和各類程序，乃至實(shí)驗(yàn)室的建設(shè)和運(yùn)行，不敢有絲毫馬虎。最終，用了2年的時(shí)間就建成了國(guó)內(nèi)先進(jìn)的百級(jí)超凈實(shí)驗(yàn)室，保障了后續(xù)MEMS工藝的環(huán)境條件，建立了一條國(guó)際先進(jìn)的MEMS傳感器研發(fā)線。

隨后，在建設(shè)百級(jí)潔凈實(shí)驗(yàn)室和購(gòu)置儀器設(shè)備的基礎(chǔ)上，她又帶領(lǐng)研究室科研人員進(jìn)行了MEMS的工藝技術(shù)攻關(guān)，打通了MEMS工藝的流程參數(shù)，完成第一款MEMS傳感器-轉(zhuǎn)速傳感器芯片的研發(fā)，相繼研制出了巨磁阻MEMS磁場(chǎng)傳感器。

一路走來，宋玉哲主持和參加了20余項(xiàng)課題的研究工作，發(fā)表科技論文30余篇，申請(qǐng)美國(guó)發(fā)明專利和中國(guó)發(fā)明專利共6項(xiàng)，獲甘肅省科技進(jìn)步三等獎(jiǎng)3項(xiàng)，“甘肅省三八紅旗手”1項(xiàng)。
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