高精度加速度計分辨率測試方法

加速度計作為慣性導(dǎo)航系統(tǒng)中的核心部件，廣泛應(yīng)用于航空航天、汽車、電子等技術(shù)領(lǐng)域，可以測量運載體所受線加速度的大小。分辨率作為加速度計的一個重要指標(biāo)，反映出加速度計能夠敏感加速度的微小極限。分辨率越高，能夠敏感的加速度值越小。在高精度測量領(lǐng)域，分辨率這一加速度計指標(biāo)備受關(guān)注。進(jìn)行加速度計分辨率測試時，需要人為地給加速度計一個微小的輸入，然后進(jìn)行數(shù)據(jù)采集、處理。

在傳統(tǒng)的加速度計分辨率測試中，均采用機械結(jié)構(gòu)裝置或改變加速度計敏感軸與水平面夾角或改變引力塊與加速度計之間的間距，這都不可避免機械裝置由于震動對高精度加速度計分辨率測量產(chǎn)生的影響。受制于測試裝置的加工制造極限，這些傳統(tǒng)測試方法只適用于一般精度的加速度計分辨率測試。

若要進(jìn)行分辨率優(yōu)于1×10-6g的分辨率測試，需要考慮一種全新的測試方法。

一種高精度加速度計分辨率測試方法，其特征在于：包括以下步驟：

⑴.選取兩只高精度加速度計，將兩只加速度計置于隔震裝置上；

⑵.以差動電容法測試為基礎(chǔ)，分別在兩只加速度計傳感器同一端串同一個微小電容器，改變傳感器兩端電容平衡時擺片的位置；

⑶.用一數(shù)字開關(guān)控制微小電容器與傳感器一端構(gòu)成的回路的通斷，開關(guān)通斷頻率要與控制回路的滯后時間及工作帶寬相協(xié)調(diào)，兩只加速度計輸出求和，用以消除共模噪聲影響；

⑷.改變微小電容器的電容值，實現(xiàn)微小加速度的輸入。

而且，步驟⑴所述的兩只高精度加速度計的標(biāo)度要一致或相近，標(biāo)度相近是指標(biāo)度差異＜1×10-3V/g。

而且，步驟⑴所述的隔震裝置為隔震大理石基座。

而且，所述的微小電容器為pF電容器。