我國光刻機技術(shù)處于落后地位，22nm與ASML的7nm有何區(qū)別

（文章來源：百家號）

芯片制造已經(jīng)被多國列為核心機密技術(shù)，華為麒麟芯片7nm技術(shù)的突破，為華為手機的創(chuàng)新扳回一城，尤其是雙11手機銷售，可以與蘋果叫板的只有華為了，畢竟華為大部分手機都是使用自己的芯片，而國產(chǎn)其它的手機，比如小米、ov使用的芯片都屬于高通系產(chǎn)品，在美國貿(mào)易戰(zhàn)之下，華為為國產(chǎn)芯注入了活力，支持度也是相當高的，所以華為手機目前成了果產(chǎn)當之無愧的老大哥了。

由此可見，在芯片的研發(fā)上，誰能先人一步，就會在手機市場上叱咤風云，正是由于華為的芯片技術(shù)，在手機上成本上才大為縮減，從而才能讓利于老百姓。使用高通芯片的手機廠商都在為高通打工，老百姓買手機的成本也是大為增加。但芯片的制造要依賴于光刻機，目前我國光刻機的技術(shù)研發(fā)還屬于一個短板。

近期ASML推遲交付給我國中芯科技7nm的EUV極外紫光光刻機引來大家的熱議，阿斯麥屬于目前世界頂級的光刻機研發(fā)制造廠商，目前的成熟技術(shù)是7nm光刻機，而且已經(jīng)投入使用，比如三星、臺積電都在用這款光刻機生產(chǎn)7nm芯片，而我國的中芯國際在去年給阿斯麥公司付款1億多美元購買的光刻機卻遲遲不給供貨，這讓大家的目光再一次聚焦到光刻機技術(shù)的研發(fā)上了。

要知道阿斯麥光刻機屬于定點供貨產(chǎn)品，只有加入該研發(fā)聯(lián)盟的股份，才有資格提前享受最先進的光刻機，因為阿斯麥的研發(fā)上得益于很多芯片巨頭的資金投入，研發(fā)經(jīng)費海量，可以廣泛搜羅全球頂級研發(fā)人員為之服務(wù)，這也是其技術(shù)一路領(lǐng)先別的廠商的原因，甚至很多以前做光刻機的公司，覺得投入與產(chǎn)出不匹配，都紛紛放棄轉(zhuǎn)而成為阿斯麥的光刻機投資同盟。

我國對于光刻機的研發(fā)也是出于初級階段，有上海微電子目前的90nm技術(shù)的光刻機，還有中芯國際的光刻機產(chǎn)品，由于我國是芯片消耗大國，但卻不是生產(chǎn)大國，核心技術(shù)都被國外公司牢牢把控，導致每年花在芯片上的資金一直居高不下。

去年中科院通過驗收的22nm光刻機是其7年技術(shù)攻關(guān)的結(jié)果，這也是國產(chǎn)一代機器，22nm工藝指的是一次曝光成型的，理論上可以通過這個光刻機多次曝光生產(chǎn)10nm的芯片，但要趕上荷蘭的7nm還是有非常大的技術(shù)困難。至少還需要4代約20年才能跟上ASML的技術(shù)水平。

荷蘭的光刻技術(shù)采用的是通過縮小光的波長來減少衍射效應(yīng)帶來的精度損失，隨著精度不斷地提高，工藝難度機器成本也越來越大，這個衍射效應(yīng)的存在，導致其精度也存在著上限。我國研發(fā)光刻機其實并沒有走ASML的老路，畢竟中間會存在技術(shù)壁壘和專利糾紛，我們則是同時投資不同的技術(shù)，22nm技術(shù)使用的是表面等離子體光刻。

我國的22nm技術(shù)沒有使用荷蘭的原有技術(shù)，在研發(fā)上也不會存在衍射效應(yīng)，屬于獨辟蹊徑，天花板更高，但由于這臺光刻機無法做到超高精度對準，雖然可以使用光柵、晶體陣列來進行制造，但無法用復雜IC圖案制造，與ASML還有很大的距離。目前這款光刻機還很粗糙，無法投入商用，但它的原理和上限要高于ASML的光刻機，只要進行不懈的努力，超越國外的光刻機也不是難事。
（責任編輯：fqj）