ADE推出兩種新的計(jì)量應(yīng)用

馬薩諸塞州韋斯特伍德 - ADE公司推出了兩種軟件計(jì)量應(yīng)用：晶圓可視化工具和缺陷分析軟件包。

設(shè)備工具箱是一種新的“離線(xiàn)”軟件應(yīng)用程序，旨在幫助工藝工程師可視化和量化晶圓形狀，厚度和平整度的變化。 WaferAnalyzer 2.0旨在幫助工程師解決硅晶圓制造中的缺陷問(wèn)題。這個(gè)新版本具有從晶圓檢測(cè)系統(tǒng)和幾何測(cè)量系統(tǒng)讀取多種文件格式的能力。

使用測(cè)量和差分（之前/之后）數(shù)據(jù)，使用Device Toolbox的工程師可以開(kāi)發(fā)，診斷和ADE表示，保持熱，光刻，背面研磨和背面蝕刻工藝。設(shè)備工具箱獨(dú)立于ADE工具運(yùn)行。由任何ADE ASC或ASC-2000測(cè)量系統(tǒng)創(chuàng)建的厚度和形狀數(shù)據(jù)由Device Toolbox轉(zhuǎn)換為一個(gè)晶圓或整個(gè)批次的“測(cè)量”或差分信息的一維，二維或三維圖。/p>

Westwood公司表示，Device Toolbox具有成本效益，因?yàn)樗试S用戶(hù)只購(gòu)買(mǎi)他們需要的東西。未來(lái)的增強(qiáng)功能包括用于膠片應(yīng)力圖或場(chǎng)地平整度的可選應(yīng)力集和場(chǎng)地集模塊。這些將分別在第一和第二季度提供。

借助新的模式識(shí)別算法，WaferAnalyzer 2.0通過(guò)加速數(shù)據(jù)收集過(guò)程，自動(dòng)化報(bào)告和圖表功能以及為復(fù)雜數(shù)據(jù)提供可視化界面來(lái)增強(qiáng)流程工程。該公司表示，它基于Microsoft Windows 95和Windows NT，可以在工程師的桌面和潔凈室中運(yùn)行，使工藝工程師能夠更高效地工作，專(zhuān)注于流程優(yōu)化而不是數(shù)據(jù)收集。