加利福尼亞州圣克拉拉市 - 應(yīng)用材料公司今天表示其SEMVision缺陷檢查系統(tǒng)已經(jīng)過驗證國際Sematech生產(chǎn)0.18微米芯片。據(jù)Applied介紹，該行業(yè)聯(lián)盟已指定掃描電子顯微鏡(SEM)系統(tǒng)作為第一個能夠自動檢查和分類晶圓廠缺陷的批量生產(chǎn)工具。
隨著器件尺寸縮小，定位可能破壞制造產(chǎn)量的微小缺陷不僅變得更加困難，而且確定異常是嚴重還是僅僅是“滋擾缺陷”也變得更加困難。能夠在生產(chǎn)車間快速對缺陷進行分類變得至關(guān)重要，因為晶圓廠經(jīng)理在將新的半導(dǎo)體材料引入工藝的過程中試圖提高產(chǎn)量(參見SBN在線雜志的特寫)。
“SEMVision系統(tǒng)為基于SEM的半導(dǎo)體行業(yè)自動缺陷分類設(shè)立了新的基準，”Sematech在德克薩斯州奧斯汀的前端處理部門主管Rinn Cleavelin表示?！霸撚媱濖炞C了SEMVision系統(tǒng)符合國際半導(dǎo)體技術(shù)路線圖中針對180納米技術(shù)所述的生產(chǎn)ADC自動缺陷分類要求。特別令人印象深刻的是該系統(tǒng)的高產(chǎn)量和可靠的性能，這是實現(xiàn)產(chǎn)值產(chǎn)量的重要要求，“他補充道。
應(yīng)用材料公司表示，Sematech使用SEMVision基于規(guī)則的自動缺陷分類方法，基于八種核心缺陷類別為工具供應(yīng)商和用戶創(chuàng)建了一種通用語言。應(yīng)用說，該術(shù)語將使芯片制造商能夠按類型(例如顆?；騽澓?，材料特性以及操作員可以用來快速確定問題根源的其他特征對缺陷進行分類。
預(yù)計芯片制造商將在未來幾年內(nèi)在自動缺陷檢查和分類系統(tǒng)上投入更多資金。 Dataquest預(yù)測，這些工具 - 包括基于光學(xué)和SEM的系統(tǒng) - 到2003年將產(chǎn)生3.84億美元的收入，而1998年為1.58億美元。
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