關(guān)于微電子機械系統(tǒng)傳感器的介紹和應(yīng)用

個微電子機械系統(tǒng)（MEMS）傳感器！豐富的生產(chǎn)經(jīng)驗和成熟的生產(chǎn)技術(shù)讓Bosch成為全球領(lǐng)先的MEMS制造商！

MEMS究竟是什么

微電子機械系統(tǒng)傳感器（Micro-electro-mechanical systems）簡稱MEMS傳感器，它是芯片形式的電子和機械硬件的組合。每個MEMS傳感器都由微型硅結(jié)構(gòu)組成，而這些硅結(jié)構(gòu)通過一種特殊的蝕刻工藝置入硅晶圓中。例如，在顯微鏡下，加速度傳感器的結(jié)構(gòu)看起來像以相對和互鎖模式排列的游絲狀梳子。其中一些精細的梳狀結(jié)構(gòu)僅有4微米——僅相當于螞蟻腿直徑的十分之一。

MEMS傳感器可以探測世界，讓電子系統(tǒng)像器官一樣學(xué)會看、聽、聞。想象一下：一個尺寸小于2毫米的元器件在數(shù)字世界中消失了，消失將產(chǎn)生什么影響? 突然間，智能手機圖片變得模糊不清，智能手機屏幕不再自動旋轉(zhuǎn)，發(fā)生碰撞時汽車安全氣囊無法被觸發(fā)……博世的MEMS傳感器已經(jīng)成為我們?nèi)粘Ｉ钪腥绱酥匾慕M成部分。

借助MEMS傳感器，無人機可以平穩(wěn)滑行，即使在風(fēng)中也精確可控；運動手環(huán)和智能腕表中可以計算步數(shù)、臺階數(shù)和卡路里。MEMS的微調(diào)接收器可測量溫度、氣壓、濕度甚至空氣質(zhì)量，有助于更有效地調(diào)控空調(diào)設(shè)備和通風(fēng)系統(tǒng)?；蛘撸斵k公室開會時間拖延時，它們可以觸發(fā)智能手機提醒大家該去呼吸點新鮮空氣了。

它們是真正意義上的互聯(lián)世界和物聯(lián)網(wǎng)（IoT）的關(guān)鍵技術(shù)?，F(xiàn)如今我們已經(jīng)無法想象離開這些芯片“小英雄”生活將會變成怎樣。

BOSCH MEMS

約25年前，博世研發(fā)出了MEMS技術(shù)所需的制造工藝。這仍是今天生產(chǎn)運行的基礎(chǔ)，整個制造過程耗時長達14周，共需上百個步驟。這些微型傳感器在嚴格的無塵環(huán)境下制造，因為即使是最小的大氣顆粒物也會破壞其生產(chǎn)。一立方英尺的空氣約30升，可能最多只能含有一顆重達半微克的顆粒物。形象地說，這相當于3.6億個浴缸里面的一個櫻桃核。

自1995年以來，Bosch MEMS不僅能提供重要的安全舒適的功能，還有助于提高駕駛樂趣和駕駛熱情。如今，全球每輛新車中平均有五個博世的MEMS傳感器。

憑借2006年第一款用于消費電子產(chǎn)品中的MEMS傳感器，博世在MEMS歷史上創(chuàng)造了另一個里程碑。如今，全球超過每兩部智能手機都使用Bosch MEMS傳感器。這讓在城市中導(dǎo)航變得更加容易。

MEMS傳感器是許多物聯(lián)網(wǎng)應(yīng)用中現(xiàn)代技術(shù)系統(tǒng)和各個領(lǐng)域的感官機構(gòu)，例如穿戴式設(shè)備、無人機、AR、VR和游戲控制器。通過Bosch MEMS傳感器，清潔機器人可幫助您每年節(jié)省40多個小時來獲取更多的樂趣！

作為機器和工件的人工感覺器官，MEMS傳感器在工業(yè)4.0中扮演著關(guān)鍵角色，它們可捕獲有關(guān)條件和性能的信息。在博世的帶領(lǐng)下，七家合作伙伴正在合作開發(fā)連接生產(chǎn)的未來傳感器系統(tǒng)。

Bosch MEMS傳感器在持續(xù)不斷生產(chǎn)：每天，博世都會生產(chǎn)超過400萬個MEMS傳感器。

Bosch MEMS采用全面復(fù)雜的生產(chǎn)過程，最長可達3.5個月！

Bosch MEMS傳感器連接非常緊密。

全球每兩部智能手機都在使用Bosch MEMS傳感器－這些小英雄廣泛用于平板電腦，穿戴式設(shè)備，無人機，AR，VR，機器人技術(shù)和游戲設(shè)備。

自2013年以來，MEMS傳感器豐富的經(jīng)驗和出色的專業(yè)技術(shù)使博世成為全球領(lǐng)先的MEMS傳感器制造商。

Bosch MEMS傳感器非常節(jié)能，可延長設(shè)備的電池壽命。

引人入勝的Bosch MEMS技術(shù)：一些MEMS傳感器元件的尺寸僅為0.004 mm，對于人眼來說幾乎是不可見的！

Bosch MEMS傳感器是車內(nèi)的忠實伴侶，它有助于提高車輛的安全性，舒適性以及駕駛樂趣。