什么是LTPS

LTPS就是低溫多晶硅。低溫多晶硅的全稱是“Low Temperature Poly-Silicon（LTPS，多晶硅又簡稱為p-Si，下同）”，它是多晶硅技術(shù)的一個分支。對LCD顯示器來說，采用多晶硅液晶材料有許多優(yōu)點，如薄膜電路可以做得更薄更小、功耗更低等等。

??? 但在多晶硅技術(shù)發(fā)展的初期，為了將玻璃基板從非晶硅結(jié)構(gòu)（a-Si）轉(zhuǎn)變?yōu)槎嗑Ч杞Y(jié)構(gòu)，就必須借助一道激光退火（Laser Anneal）的高溫氧化工序，此時玻璃基板的溫度將超過攝氏1000度。眾所周知，普通玻璃在此高溫下就會軟化熔融，根本無法正常使用，而只有石英玻璃才能夠經(jīng)受這樣的高溫處理。而石英玻璃不僅價格昂貴且尺寸都較小，無法作為顯示器的面板，廠商很自然選擇了廉價的非晶硅材料（a-Si），這也是我們今天所見到的情形。
??? 不過，業(yè)界并沒有因此放棄努力，發(fā)展低溫多晶硅技術(shù)成為共識，在經(jīng)過多年的努力之后，低溫多晶硅終于逐步走入現(xiàn)實。與傳統(tǒng)的高溫多晶硅相比，低溫多晶硅雖然也需要激光照射工序，但它采用的是準分子激光作為熱源，激光經(jīng)過透射系統(tǒng)后，會產(chǎn)生能量均勻分布的激光束并被投射于非晶硅結(jié)構(gòu)的玻璃基板上，當非晶硅結(jié)構(gòu)的玻璃基板吸收準分子激光的能量后，就會轉(zhuǎn)變成為多晶硅結(jié)構(gòu)。由于整個處理過程是在攝氏500-600度以下完成，普通的玻璃基板也可承受，這就大大降低了制造成本，將多晶硅技術(shù)引入LCD顯示器領(lǐng)域也就完全可行。而除了制造成本降低外，低溫多晶硅技術(shù)的優(yōu)點還體現(xiàn)在以下幾個方面。
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