進(jìn)行MEMS制造的最基本需求是能夠沉積1到100微米之間的材料薄膜。NEMS的制造過程是基本一致的，膜沉積的測量范圍從幾納米到一微米。
2022-10-11 09:12:59
1193 MEMS傳感器在各類電子產(chǎn)品上快速普及，我們身邊的智能手機(jī)、平板電腦等幾乎所有電子設(shè)備無不包含，然而大部分人對MEMS技術(shù)還是比較陌生的。 MEMS技術(shù)的應(yīng)用主要有傳感器和執(zhí)行器兩部分，本文
2023-08-21 17:23:164251 
MEMS傳感器是當(dāng)今最炙手可熱的傳感器制造技術(shù)，也是傳感器小型化、智能化的重要推動了，MEMS技術(shù)促進(jìn)了傳感器的極大發(fā)展。
2023-11-05 10:13:46633 
中科融合是一家國際領(lǐng)先的先進(jìn)光學(xué)智能傳感器芯片企業(yè)，是國內(nèi)唯一擁有自主研發(fā)“MEMS芯片+SOC芯片+核心算法”，并且提供完整的AI+3D芯片以及模組產(chǎn)品的創(chuàng)新型高新技術(shù)企業(yè)。MEMS激光微振鏡投射芯片是實(shí)現(xiàn)動態(tài)結(jié)構(gòu)光條紋投影的核心部件。
2023-12-14 14:43:23547 
MEMS: Mainstream Process Integration The picture below shows a prototype example
2009-12-22 16:34:57
層，該多晶硅層被圖案化為可移動的機(jī)械結(jié)構(gòu)，并通過犧牲性蝕刻下面的氧化物層來釋放。叉指式梳狀電極用于產(chǎn)生平面內(nèi)力并以電容方式檢測平面內(nèi)運(yùn)動。這種MEMS范例使制造低成本的加速度計(jì)成為可能適用于例如汽車
2021-01-05 10:33:12
產(chǎn)生的不受歡迎的噪聲水平。半導(dǎo)體構(gòu)造技術(shù)與音頻前置放大器的加入進(jìn)一步使得制造具有緊密匹配，溫度穩(wěn)定性能特性的MEMS麥克風(fēng)成為可能，使其非常適合于多麥克風(fēng)陣列應(yīng)用。在制造過程中，MEMS麥克風(fēng)還可以承受回流焊
2019-02-23 14:05:47
和控制電路、直至接口、通信和電源等集成于一塊或多塊芯片上的微型器件或系統(tǒng)。而MEMS傳感器就是采用微電子和微機(jī)械加工技術(shù)制造出來的新型傳感器。MEMS是用傳統(tǒng)的半導(dǎo)體工藝和材料，以半導(dǎo)體制造技術(shù)為
2016-12-09 17:46:21
高。MEMS技術(shù)使數(shù)以萬計(jì)的MEMS芯片（有些工藝也會把集成電路芯片放在同一步驟加工）出現(xiàn)在了每一片wafer上面，如下圖所示。這種批量生產(chǎn)（batch process）的過程目前已經(jīng)全自動化控制
2018-11-12 10:51:35
，；應(yīng)用最多的屬于振動陀螺儀，通常，它與低加速度計(jì)一起構(gòu)成主動控制系統(tǒng)。MEMS傳感器的廣泛應(yīng)用，強(qiáng)烈需要研究出高精密汽車傳感器焊接工藝。 汽車MEMS傳感器芯片多以單晶硅或多晶硅或微硅質(zhì)量塊作為材料
2022-10-18 18:28:49
MEMS傳感器，也就是我們常說的智能傳感器，是應(yīng)用最廣泛的MEMS器件。它一般是把信號處理電路和敏感單元集成制作在一個芯片上，這樣能夠感知被測參數(shù)，并且還能對所得到的信號進(jìn)行分析、處理和識別、判斷
2013-10-11 16:21:38
MEMS(Micro-Electro-MechanicalSystems)是微機(jī)電系統(tǒng)的縮寫，MEMS技術(shù)建立在微米/納米基礎(chǔ)上，是對微米/納米材料進(jìn)行設(shè)計(jì)、加工、制造、測量和控制的技術(shù)，完整的MEMS是由微傳感器、微執(zhí)行器、信號處理和控制電路、通訊接口和電源等部件組成的一體化的微型器件系統(tǒng)。
2019-09-29 09:34:52
器件或系統(tǒng)。MEMS是隨著半導(dǎo)體集成電路微細(xì)加工技術(shù)和超精密機(jī)械加工技術(shù)的發(fā)展而發(fā)展起來的，目前MEMS加工技術(shù)還被廣泛應(yīng)用于微流控芯片與合成生物學(xué)等領(lǐng)域，從而進(jìn)行生物化學(xué)等實(shí)驗(yàn)室技術(shù)流程的芯片集成化
2018-09-07 15:24:09
電子器件中使用的傳感器處理導(dǎo)致的。這可能導(dǎo)致通過傳感器信號路徑的相位相關(guān)誤差波動增加，特別是在卡爾曼濾波器中。MEMS IMU的可用帶寬為330 Hz，采用嵌入式的可調(diào)濾波系統(tǒng)，提供合理平衡的方法，最大
2018-10-18 10:55:34
流片過程中實(shí)現(xiàn)的，需要在潔凈環(huán)境中按照晶圓處理流程操作。相比而言，集成電路的大部分封裝都是在晶圓被切割完成后的芯片級完成的，對封裝過程的環(huán)境潔凈程度沒有特別高的要求。MEMS芯片設(shè)計(jì)者更愿意使用成本
2010-12-29 15:44:12
的自動測試設(shè)備制造商特別有價(jià)值。圖8. ADI引線框芯片級封裝MEMS開關(guān)（四開關(guān)）與典型機(jī)電式RF繼電器（四開關(guān)）的尺寸比較結(jié)語ADI公司開發(fā)的MEMS開關(guān)技術(shù)使開關(guān)性能和尺寸縮減實(shí)現(xiàn)了大跨越。同類最佳
2018-10-17 10:52:05
MEMS技術(shù)
2012-08-14 23:03:38
MEMS器件目前主要應(yīng)用于汽車和消費(fèi)電子，未來在醫(yī)療、工業(yè)、航空航天市場也將逐漸普及。那么MEMS是什么？有什么特點(diǎn)？MEMS設(shè)計(jì)與制造面臨哪些困難？本文將會一一解答?！ ?b class="flag-6" style="color: red">MEMS是什么？ 微機(jī)
2018-11-07 11:00:01
哪位大佬可以詳細(xì)介紹下MEMS技術(shù)到底是什么
2020-11-25 07:23:59
各角度的進(jìn)行控制拍攝，15分鐘左右完成整個胃部檢查，之后自然排出體外。 圖為重慶金山科技有限公司生產(chǎn)的膠囊胃鏡膠囊胃鏡內(nèi)部結(jié)構(gòu)膠囊胃鏡的工作過程2、人體芯片圖為可植入人體芯片3、MEMS隱形眼鏡圖為
2018-10-15 10:47:43
微機(jī)電系統(tǒng) (MEMS) 將很快成為智能系統(tǒng)設(shè)計(jì)和構(gòu)造不可或缺的部分。這些器件縮短了物理世界和電子世界之間的差距，它們用于眾多應(yīng)用，涉及各種細(xì)分市場。在眾多細(xì)分市場中，價(jià)格降低、準(zhǔn)確度要求提高和快速面市需求將對設(shè)計(jì)和制造性能提出新的約束條件。企業(yè)要獲得成功必須找到新的方法來應(yīng)對這些挑戰(zhàn)。
2019-10-17 07:11:28
作為一項(xiàng)基于固態(tài)電子器件和內(nèi)置半導(dǎo)體制造設(shè)施技術(shù)，MEMS向狀態(tài)監(jiān)控產(chǎn)品設(shè)計(jì)師提供了幾個極具吸引力且有價(jià)值的優(yōu)勢。撇開性能因素，我們就來說說狀態(tài)監(jiān)控領(lǐng)域的任何人都應(yīng)對MEMS加速度計(jì)感興趣的主要原因
2018-10-12 11:01:36
很多通信系統(tǒng)發(fā)展到某種程度都會有小型化的趨勢。一方面小型化可以讓系統(tǒng)更加輕便和有效，另一方面，日益發(fā)展的IC制造技術(shù)可以用更低的成本生產(chǎn)出大批量的小型產(chǎn)品。MEMS
2019-06-24 06:27:01
近來全球各大半導(dǎo)體廠似乎掀起一股MEMS熱，無論是最上游的IC設(shè)計(jì)公司、晶圓代工廠、一直到最終端的封裝測試廠，就連半導(dǎo)體機(jī)器設(shè)備商，也一頭栽進(jìn)MEMS世界，甚至近來半導(dǎo)體公司工程人員見面不乏問一句，你們家MEMS了嗎!由此已可看出MEMS對于多數(shù)全球半導(dǎo)體大廠來說，已成為必須發(fā)展的產(chǎn)品線!
2019-10-12 09:52:43
作者：Mark Looney簡介MEMS加速度計(jì)終于達(dá)到了能夠測量廣泛機(jī)器平臺振動的階段。其最近的能力進(jìn)步，加上MEMS加速度計(jì)已有的相對于傳統(tǒng)振動傳感器的諸多優(yōu)勢（尺寸、重量、成本、抗沖擊性
2019-07-22 06:31:06
工欲善其事，必先利其器，對MEMS和BLE這對璧人來說那就是需要那就是MEMS需要將自己迷人的曲線展現(xiàn)出來，BLE需要將內(nèi)心的話說出來。
2019-09-11 11:52:38
進(jìn)行設(shè)計(jì)，由此確定器件的結(jié)構(gòu)、使用的材料、應(yīng)用的工作原理和感應(yīng)技術(shù)等。MEMS設(shè)計(jì)人員可以根據(jù)模擬和建模工具選擇制造傳感器的最佳工藝和材料，并預(yù)測MEMS磁傳感器的性能。同時(shí)設(shè)計(jì)人員必須考慮器件制作過程
2018-11-09 10:38:15
是MEMS器件普遍采用的一種封裝形式，改為塑料封裝后可能會增加應(yīng)力和靈敏度。制造商在封裝過程中對器件進(jìn)行校準(zhǔn)，將之作為測試的一部分，但如果在以后的裝配過程中遇到意想不到的變化，像線路板翹曲和扭曲等，這些
2014-08-19 15:50:19
MEMS麥克風(fēng)制造的推薦焊接參數(shù)（即焊膏厚度）是多少？以上來自于谷歌翻譯以下為原文 What are the recommended soldering parameters (i.e.
2018-09-27 16:16:47
商的MEMS麥克風(fēng)展開技術(shù)和制造工藝分析，并給出這些產(chǎn)品的技術(shù)相似處和差異點(diǎn)。產(chǎn)品和專利之間的聯(lián)系本報(bào)告選出一些產(chǎn)品特性（主要和MEMS麥克風(fēng)芯片相關(guān)）來進(jìn)行專利研究：* 工藝：膜結(jié)構(gòu)、防粘塊
2015-05-15 15:17:00
解釋MEMS麥克風(fēng)數(shù)據(jù)手冊中出現(xiàn)的技術(shù)規(guī)格和術(shù)語
2021-03-10 07:02:08
的應(yīng)用，為新型麥克風(fēng)技術(shù)的發(fā)展創(chuàng)造了機(jī)會。新技術(shù)應(yīng)當(dāng)能改善上述缺點(diǎn)，讓制造商生產(chǎn)出更高質(zhì)量、更加可靠的設(shè)備。微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)是電容麥克風(fēng)變革的中堅(jiān)力量。MEMS麥克風(fēng)利用了過去數(shù)十年來硅技術(shù)
2019-11-05 08:00:00
MEMS質(zhì)量塊位移引起的輸出電容變化。Kx/c等于： 其中C0是電容的剩余容量。上述Vp表達(dá)式只是用于展示Vp的相關(guān)性。 圖1:MEMS慣性傳感器 傳感部分模型但是在像Σ-Δ環(huán)路中那樣的動態(tài)電壓激勵
2018-12-05 15:12:05
國際IDM大廠MEMS產(chǎn)品持續(xù)向前邁大步，近期已有IDM業(yè)者將原本單純MEMS傳感器加裝MCU芯片，進(jìn)一步升級為多功能MEMS感測芯片，半導(dǎo)體業(yè)者表示，F(xiàn)reescale打算在短時(shí)間內(nèi)結(jié)合自家MCU
2019-07-26 07:08:58
近年來射頻微電子系統(tǒng)(RF MEMS)器件以其尺寸小、功耗低而受到廣泛關(guān)注，特別是MEMS開關(guān)構(gòu)建的移相器與天線，是實(shí)現(xiàn)上萬單元相控陣?yán)走_(dá)的關(guān)鍵技術(shù)，在軍事上有重要意義。在通信領(lǐng)域上亦憑借超低
2019-07-29 08:31:54
的設(shè)計(jì)、制造和封裝已經(jīng)是目前研究的熱點(diǎn)。采用微細(xì)加工工藝將微米尺度下的微機(jī)械部件和IC電路制作在同一個芯片上形成高度集成的功能單元。由于MEMS單元具有體積小、響應(yīng)快、功耗低、成本低的優(yōu)點(diǎn)，具有極為廣闊
2019-06-24 06:11:50
和汽車應(yīng)用市場供應(yīng)大量產(chǎn)品。MEMS傳感器和信號調(diào)理電路芯片在半導(dǎo)體制造設(shè)備中的生產(chǎn)能力，也可用于工業(yè)和航空領(lǐng)域，有助于降低總體成本。此外，過去25年來，汽車應(yīng)用領(lǐng)域已安裝了超過十億個傳感器，事實(shí)證明
2018-10-11 10:31:14
、振動、濕度和時(shí)間的影響。由于耐熱性強(qiáng)，MEMS麥克風(fēng)可承受260℃的高溫回流焊，而性能不會有任何變化。由于組裝前后敏感性變化很小，還可以節(jié)省制造過程中的音頻調(diào)試成本。MEMS麥克風(fēng)需要ASIC提供
2016-05-17 12:01:13
等優(yōu)點(diǎn)。MEMS微流控是純粹的機(jī)械結(jié)構(gòu)，制作微流控芯片的主要材料包括硅、玻璃、石英、高聚物、陶瓷、紙等。（6）射頻MEMS（含F(xiàn)BAR）射頻是一個和大家息息相關(guān)的領(lǐng)域，只要涉及到無線通信（2345G
2021-04-09 07:00:00
等優(yōu)點(diǎn)。MEMS微流控是純粹的機(jī)械結(jié)構(gòu)，制作微流控芯片的主要材料包括硅、玻璃、石英、高聚物、陶瓷、紙等。（6）射頻MEMS（含F(xiàn)BAR）射頻是一個和大家息息相關(guān)的領(lǐng)域，只要涉及到無線通信（2345G
2021-05-25 07:00:00
什么是壓電MEMS揚(yáng)聲器？壓電MEMS揚(yáng)聲器UT-P 2016的指標(biāo)規(guī)格有哪些？壓電MEMS揚(yáng)聲器UT-P 2016的應(yīng)用有哪些？
2021-06-16 08:50:27
，MEMS 振蕩器制造商使用標(biāo)準(zhǔn)的半導(dǎo)體批量模式技術(shù)。 這包括諧振器和振蕩器 IC 的晶圓級生產(chǎn)，以及使用塑料封裝與標(biāo)準(zhǔn)引線框架進(jìn)行芯片鍵合。 SiTIme MEMS 諧振器芯片由純硅的單一機(jī)械結(jié)構(gòu)制成
2021-11-12 08:00:00
加速度計(jì)的芯片結(jié)構(gòu)。用于傳感檢測的MEMS芯片和用于控制的IC芯片通?；旌霞稍谝粋€殼體里面。此外，MEMS技術(shù)在生活中的其他應(yīng)用包括MEMS麥克風(fēng)、MEMS投影儀、MEMS壓力傳感器，等等。圖.3
2020-05-12 17:27:14
做一個基于MEMS的轉(zhuǎn)臺伺服控制系統(tǒng)，原理已經(jīng)初步設(shè)計(jì)，硬件有人做，缺一個對MEMS了解，熟悉自動控制系統(tǒng)開發(fā)的合作伙伴，有意者回信。dodmail@qq.com注明：MEMS
2014-12-15 18:43:05
進(jìn)的MEMS開關(guān)制造設(shè)備，ADI公司目前可以批量生產(chǎn)高性能的快速小型MEMS開關(guān)，此類開關(guān)的特點(diǎn)是機(jī)械耐用、功耗低且具有靜電放電 (ESD) 保護(hù)功能。MEMS開關(guān)技術(shù)ADI MEMS開關(guān)技術(shù)的關(guān)鍵是
2018-11-01 11:02:56
、較強(qiáng)的溝通協(xié)調(diào)能力5、較好的團(tuán)隊(duì)合作能力c)應(yīng)聘方式：請應(yīng)聘者將簡歷及相關(guān)材料（學(xué)歷學(xué)位證書、在校成績單、四六級證明、獲獎成果等），發(fā)送至 jobs@sinoist.com.cn 。蘇州原位芯片科技公司
2016-08-15 11:03:52
與主動組件、相機(jī)穩(wěn)定與GPS的陀螺儀、小型燃料電池與生化芯片等，應(yīng)用最多的傳感器是加速計(jì)、陀螺儀與MEMS硅麥克風(fēng)，其中加速度計(jì)是該市場中第一大應(yīng)用產(chǎn)品。而近期陀螺儀增長迅速，已經(jīng)成為繼加速度計(jì)后
2016-12-07 15:43:48
，都是把兩個截然不同的元件結(jié)合起來，一是諧振器，一是能補(bǔ)償諧振器頻率的任何漂移(drift)的放大器IC/基座芯片。采用MEMS使振蕩器的制造大為改善，因?yàn)樗獬耸⒄袷幤魉枰膹?fù)雜材料處理技術(shù)，并且
2014-08-20 15:39:07
、國防、航空、航天等領(lǐng)域知名公司有著深入的合作。Radant MEMS 公司產(chǎn)品包括：射頻開關(guān)、MEMS開關(guān)、開關(guān)芯片、MEMS移相器等等。產(chǎn)品都可以提供表貼式、嵌入式、同軸連接器等。易譜科技有限公司——專業(yè)的射頻微波毫米波太赫茲產(chǎn)品與儀器代理商！電話：028-8521 2825
2014-10-24 11:36:26
穩(wěn)定控制系統(tǒng)中的剎車傳感器，側(cè)面氣囊，與日益嚴(yán)格的排放標(biāo)準(zhǔn)相關(guān)的引擎控制，大氣壓力與廢氣再循環(huán)壓力。這種傳感器用單晶硅作材料，以采用MEMS技術(shù)在材料中間制作成力敏膜片，然后在膜片上擴(kuò)散雜質(zhì)形成四只
2016-12-07 15:42:36
MEMS有各種尺寸和功能，從微型化的傳感器芯片，到獨(dú)特的微納米架構(gòu)，可以感知、測量、傳輸并控制幾乎所有傳感模式。MEMS實(shí)現(xiàn)了具有感知、控制和執(zhí)行能力的增強(qiáng)型微系統(tǒng)，這在十多年前幾乎無法想象。
2020-08-05 07:06:14
電子設(shè)備和通信系統(tǒng)設(shè)備的振蕩器選擇是影響系統(tǒng)性能的主要因素。目前振蕩器有兩種：石英晶體振蕩器是由石英晶體的基本結(jié)構(gòu)構(gòu)成，和一個簡單的振蕩器電路。全硅MEMS諧振器，鎖向電路，溫度補(bǔ)償，以及制造校準(zhǔn)
2020-05-30 13:25:53
組件整合到產(chǎn)品中的過程?！ ?b class="flag-6" style="color: red">MEMS芯片在消費(fèi)性電子裝置中的應(yīng)用日益廣泛，可為終端產(chǎn)品提供影像穩(wěn)定、室內(nèi)導(dǎo)航等等傳統(tǒng)電子組件無法提供的先進(jìn)功能；但目前各家MEMS傳感器元 件制造商所采用的接口各不相同
2018-11-13 16:11:08
隨著More-Than-Moore(超摩爾定律)的口號越來越響亮，逐漸帶動物聯(lián)網(wǎng)(IoT)、智能穿戴設(shè)備的興起。而這些設(shè)備里面不可或缺的就是MEMS傳感器，所以前面花了兩堂課講了一些MEMS相關(guān)
2021-11-17 07:45:26
作者：Ed Spence市場上出現(xiàn)了很多采用微型機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)加速度計(jì)作為核心傳感器的高度集成和易于部署的狀態(tài)監(jiān)控產(chǎn)品。這些經(jīng)濟(jì)產(chǎn)品有助于減少總體部署和擁有成本，并且可在該過程中擴(kuò)展受益于狀態(tài)
2019-07-17 06:38:53
有沒有類似與MPU6050的MEMS芯片，檢測精度是毫米級，掛在導(dǎo)線上測量導(dǎo)線位移的，不是激光的或者超聲波的，有這樣的傳感器嗎？？？
2019-06-06 00:54:40
隨著傳感器、物聯(lián)網(wǎng)應(yīng)用的大規(guī)模落地，微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）在近些年應(yīng)用越來越廣泛，MEMS的存在可以減小電子器件的大小。同時(shí)，與之相對應(yīng)的MEMS封裝也開始備受關(guān)注。
2020-05-12 10:23:29
UI-X6220是一個專用于MEMS芯片的數(shù)字功能測試板卡，可用于多功能測試，量產(chǎn)測試等 每張板卡有32個通道，每個通道有PMU功能，通過多板卡級聯(lián)，能
2021-12-08 14:49:48
UI300系列MEMS芯片測試系統(tǒng)是由聯(lián)合儀器推出的基于PXI架構(gòu)的針對MEMS傳感器的高度集成自動測試系統(tǒng)解決方案。該系統(tǒng)可以通過專用的硬件
2021-12-13 17:15:49
UI-X6220是一個專用于MEMS芯片的數(shù)字功能測試板卡，可用于多功能測試，量產(chǎn)測試等。每張板卡有32個通道，每個通道有PMU功能，通過多板卡級聯(lián)，能擴(kuò)展到最多512個
2022-02-21 15:14:54
SPEA DOT100 MEMS設(shè)備導(dǎo)向型測試儀DOT100 MEMS測試設(shè)備SPEA DOT100設(shè)備導(dǎo)向型測試儀：這臺設(shè)備就是設(shè)計(jì)來解決MEMS和其他低接腳計(jì)數(shù)裝置的測試要求在一個
2022-09-14 14:43:03
MEMS單軸陀螺儀芯片利用作用在旋轉(zhuǎn)物體上的科里奧利力。高Q值和相對靈敏度的壓電單晶通過采用，雖然體積小，但在振動型中實(shí)現(xiàn)了最高的輸入/輸出靈敏度比。
2022-11-21 13:24:32
MEMS交換,MEMS交換原理是什么?
采用微電子機(jī)械技術(shù)（MEMS）的光交換。這種光交換的結(jié)構(gòu)實(shí)質(zhì)上是一個二維易鏡片陣，當(dāng)進(jìn)行光交換時(shí)
2010-03-20 11:03:48664 MEMS,什么是MEMS
MEMS（Micro Electromechanical System，即微電子機(jī)械系統(tǒng)）是指集微型傳感器、執(zhí)行器以及信號處理和控制電路、接口電路、通
2010-03-20 16:08:241030 MEMS是什么意思呢?電子發(fā)燒友網(wǎng)為大家整理了MEMS技術(shù),MEMS傳感器,MEMS陀螺儀,MEMS麥克風(fēng)等相關(guān)知識。深入詳盡的解釋了MEMS技術(shù)的發(fā)展及應(yīng)用。
2012-03-31 16:54:29
基于MEMS 芯片的周界探測系統(tǒng)構(gòu)成 一般的周界探測系統(tǒng)和物聯(lián)網(wǎng)系統(tǒng)的基本構(gòu)成是相似的： 傳感、網(wǎng)絡(luò)以及控制管理。 基于MEMS 芯片的振動傳感器-ViSEN 振動傳感器ViSEN
2017-10-18 15:22:51
12 MEMS器件動態(tài)特性的光學(xué)測量就是一種有效的測試手段。先進(jìn)的光學(xué)測量技術(shù)對MEMS器件在開發(fā)過程中了解其全視野動態(tài)響應(yīng)，完成各種不同的物理特性的多種參數(shù)（尺寸、薄膜厚度、臺階高度、橫截面、粗糙度、壓力、靜摩擦、彈性模量、響應(yīng)時(shí)間、熱膨脹、諧振頻率，等等）的測量。
2018-07-13 14:40:0015577 MEMS代工主要有兩種類型：IDM廠商提供的MEMS代工，獨(dú)立的代工廠提供的MEMS代工，其中獨(dú)立的代工廠包括集成電路代工廠和純MEMS代工廠。近幾年Fabless模式的MEMS器件制造商發(fā)展迅速
2018-07-31 09:24:002544 MEMS產(chǎn)業(yè)增長潛力巨大，而MEMS制造是產(chǎn)業(yè)持續(xù)發(fā)展的瓶頸還是將潛力兌現(xiàn)成現(xiàn)實(shí)的關(guān)鍵路徑?據(jù)麥姆斯咨詢報(bào)道，漫長的開發(fā)周期、繁多的制造平臺、研發(fā)期間的用量少帶來的高報(bào)價(jià)是阻礙新產(chǎn)品快速研發(fā)的主要絆腳石。
2018-05-21 23:27:003239 
罕王微電子（遼寧）有限公司成立于2011年5月，2013年3月罕王微機(jī)電高科技產(chǎn)業(yè)園開工建設(shè)，2015年7月MEMS芯片后端制造車間建成，2017年7月MEMS芯片前端制造車間建成，2018年底 8英寸MEMS生產(chǎn)線工程建設(shè)全部竣工。
2019-02-22 14:46:224594 深度反應(yīng)離子刻蝕或DRIE是一種相對較新的制造技術(shù)，已被MEMS社區(qū)廣泛采用。
2020-03-14 11:04:075187 
MEMS(微電子機(jī)械系統(tǒng))技術(shù)是一種使產(chǎn)品集成化、微型化、智能化的微型機(jī)電系統(tǒng)。在半導(dǎo)體集成電路技術(shù)之上發(fā)展起來的硅基MEMS制造技術(shù)目前使用十分廣泛。 國外技術(shù)發(fā)展日趨成熟 上世紀(jì)80年代
2020-04-03 15:27:421773 敏芯股份稱，MEMS芯片的制造工藝和集成電路芯片完全不同，且一種MEMS芯片對應(yīng)一種制造工藝。芯片研發(fā)公司要想做出性能出色的MEMS芯片，首先要有自主開發(fā)生產(chǎn)工藝的能力。這是MEMS芯片企業(yè)創(chuàng)業(yè)艱難的核心所在，也是公司推動MEMS產(chǎn)業(yè)鏈全國產(chǎn)化的原因。
2020-05-30 11:08:1413787 那MEMS傳感器又是什么？MEMS傳感器就是把一顆MEMS芯片和一顆專用集成電路芯片（ASIC芯片）封裝在一塊后形成的器件。左圖是一張典型的MEMS麥克風(fēng)內(nèi)部構(gòu)造的放大圖，圖內(nèi)右邊的芯片是MEMS芯片，左邊的芯片是ASIC芯片。右圖是封裝后的MEMS麥克風(fēng)。
2020-06-12 09:42:2275919 MEMS器件利用半導(dǎo)體加工技術(shù)來制造三維機(jī)械結(jié)構(gòu)，三種最常用的MEMS制造技術(shù)包括體微加工（Bulk Micro Machining）、表面微加工（Surface Micro Machining）和LIGA。
2020-07-29 17:42:586928 MEMS器件和集成電路（IC）芯片是通過類似的過程制造的。兩者都始于基礎(chǔ)襯底晶圓（通常是硅或玻璃），然后通過后續(xù)步驟進(jìn)行構(gòu)建和雕刻。
2020-08-11 16:24:151603 
倍。今日開盤后敏芯股份的股價(jià)一度暴漲接近291％。截至下午收盤，股價(jià)仍上漲269.4%，報(bào)收231.5元/股。 很多人聽供應(yīng)商說過產(chǎn)品采用了Mems芯片，但對Mems芯片了解并不多。 MEMS的概念于20世紀(jì)50年代被提出，它是利用集成電路制造技術(shù)和微加工技術(shù)把微結(jié)構(gòu)、微傳感器、控制處
2020-11-20 17:50:4810042 簡介：本節(jié)以truedyne sensor公司為例，介紹了他們的MEMS傳感器技術(shù)的積累過程。MEMS傳感器的技術(shù)核心，是硅諧振測量通道，與傳統(tǒng)的諧振器技術(shù)相比，MEMS傳感器具有許多的優(yōu)點(diǎn)，例如
2020-12-28 15:42:4019381 MEMS是一種制造技術(shù)，諸如杠桿、齒輪、活塞、發(fā)動機(jī)甚至蒸汽機(jī)都是由MEMS制造的。相比于芯片制造業(yè)越來越被普通人熟知，而與芯片采用相同工藝的MEMS技術(shù)顯得有些神秘。什么是MEMS？ MEMS
2021-02-20 11:05:316656 MEMS工藝——半導(dǎo)體制造技術(shù)說明。
2021-04-08 09:30:41237 MEMS是Micro-Electro-Mechanical System的縮寫，中文名稱是微機(jī)電系統(tǒng)。MEMS芯片簡而言之，就是用半導(dǎo)體技術(shù)在硅片上制造電子機(jī)械系統(tǒng)，再形象一點(diǎn)說就是做一個微米納米級
2021-07-09 15:39:4048908 測試MEMS器件需要不同的方法，因?yàn)橛行?b class="flag-6" style="color: red">MEMS芯片包含可動作的機(jī)械器件，測試時(shí)需要搖動器件來測試移動范圍與結(jié)構(gòu)的一致性，但是這種測試各自有相應(yīng)的問題，例如成本。 “用大型ATE設(shè)備測試成本敏感
2021-07-19 17:36:522253 贊助商廣告展示 原文標(biāo)題：MEMS芯片制造工藝流程詳解 文章出處：【微信公眾號：今日半導(dǎo)體】歡迎添加關(guān)注！文章轉(zhuǎn)載請注明出處。 ? ? ? 審核編輯：彭靜
2022-07-11 16:20:185860 MEMS芯片和ASIC芯片是一個MEMS傳感器中技術(shù)和價(jià)值含量最高的部分。你知道MEMS芯片是怎么被制造出來的嗎？MEMS芯片與集成電路芯片有什么區(qū)別？ ? 此外，談到MEMS傳感器，我們還常
2023-05-30 08:36:581477 
關(guān)于 MEMS 芯片，首先要了解的是，當(dāng)它們暴露在壓力或溫度下時(shí)，它們會產(chǎn)生相應(yīng)的輸出（以毫伏為單位），前提是已提供輸入電壓或激勵電壓。 MEMS 芯片的毫伏輸出實(shí)質(zhì)上是壓力值。 因此，在各種條件下測試芯片時(shí)，要在任何 MEMS 芯片中尋找的一般特性是穩(wěn)定且可重復(fù)的輸出。
2023-06-07 15:22:501217 
MEMS 器件通常使用兩個芯片制造：一個來自 CMOS 晶圓，另一個來自 MEMS 晶圓。這種兩芯片制造工藝給制造商帶來了一些挑戰(zhàn)。為 MEMS 和 CMOS 生產(chǎn)單獨(dú)的晶圓成本高昂，會延長上市時(shí)間，而且只能生產(chǎn)小批量（特別是在硅短缺的情況下）。
2023-08-15 16:14:40550 
本文整理自公眾號芯生活SEMI Businessweek中關(guān)于MEMS制造工藝的多篇系列內(nèi)容，全面、專業(yè)地介紹了MEMS芯片制造中的常用工藝情況，推薦！ ? 作為現(xiàn)代傳感器重要的制造技術(shù)，MEMS
2023-10-20 16:10:351408 
以最清晰明了的方式，圖解直觀闡述MEMS傳感器芯片的制造過程和原理！ MEMS是Micro Electro Mechanical Systems（微機(jī)電系統(tǒng)）的縮寫，具有微小的立體結(jié)構(gòu)（三維結(jié)構(gòu)），是處理各種輸入、輸出信號的系統(tǒng)的統(tǒng)稱。 ? 是利用微細(xì)加工技術(shù)，將機(jī)械零零件、電子電路
2023-11-02 08:37:09777 
來源：半導(dǎo)體行業(yè)觀察，謝謝 編輯：感知芯視界 Link 半導(dǎo)體與微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）集成是指將MEMS器件與集成電路（IC）集成在單個芯片上，從而縮小封裝/減少重量和尺寸，提高性能，并降低儀器
2023-11-24 09:19:31287 膜厚測試在MEMS制造工藝中至關(guān)重要，它不僅關(guān)乎工藝質(zhì)量，更直接影響著最終成品的性能。為了確保每一片MEMS器件的卓越品質(zhì)，精確測量薄膜厚度是不可或缺的一環(huán)。
2024-01-08 09:40:54262 
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