中國首條MEMS 8英寸線成功投入運(yùn)營,中國MEMS產(chǎn)業(yè)的里程牌

　　MEMS（微機(jī)電系統(tǒng)），是在微電子技術(shù)上發(fā)展起來的，涉及微電子、材料、力學(xué)、化學(xué)、機(jī)械、物聯(lián)網(wǎng)等諸多學(xué)科領(lǐng)域，是目前國際上發(fā)達(dá)國家大力發(fā)展的前沿技術(shù)。

　　近日，罕王微電子（遼寧）有限公司總裁黃向向女士、執(zhí)行副總裁Douglas Sparks博士以及全球首席市場/營銷總監(jiān)Laura Kendall女士攜罕王微電子展團(tuán)，盛大亮相 “2017傳感器與MEMS技術(shù)產(chǎn)業(yè)化國際研討會暨科研成果產(chǎn)品展”與“中國國際納米技術(shù)產(chǎn)業(yè)博覽會（CHInano2017 Conference& Expo）”，Douglas Sparks博士在大會上做了主題發(fā)言。

　　罕王微電子展臺@中國國際納米技術(shù)產(chǎn)業(yè)博覽會

　　罕王微電子執(zhí)行副總裁Douglas Sparks博士

　　Douglas Sparks博士在發(fā)言中介紹，罕王微電子投資建設(shè)的中國首條也是唯一一條專注于MEMS的8英寸大規(guī)模產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)線已經(jīng)成功投入運(yùn)營。通過此前對Maxim（美信）公司MEMS傳感器業(yè)務(wù)的收購，罕王微電子獲得了美信所有相關(guān)的工藝技術(shù)、設(shè)備以及200多件專利，更為重要的是獲得了美信在MEMS制造領(lǐng)域積累的20多年經(jīng)驗(yàn)，這為罕王8英寸產(chǎn)線的成功投產(chǎn)規(guī)避了許多問題，爭取了寶貴的時(shí)間。

　　罕王微電子8英寸MEMS Fab

　　在談及罕王微電子為什么對MEMS產(chǎn)業(yè)感興趣，并且沒有選擇Fabless或Fab-lite的創(chuàng)業(yè)模式，而是初期就確定IDM模式并大力投入建設(shè)自己的8英寸產(chǎn)線，罕王微電子總裁黃向女士不無感概的說：“罕王作為一家擁有35年運(yùn)營歷史的國際礦業(yè)集團(tuán)，在有資金實(shí)力支持的條件下，罕王創(chuàng)始人希望為國內(nèi)的MEMS制造業(yè)做出自己的貢獻(xiàn)，以投資回報(bào)這片故土；另外，隨著以智能傳感器為感知基石的智能手機(jī)、可穿戴、先進(jìn)駕駛輔助系統(tǒng)（ADAS）及無人駕駛汽車、無人機(jī)等物聯(lián)網(wǎng)應(yīng)用市場的興起，投資MEMS產(chǎn)業(yè)也是罕王集團(tuán)轉(zhuǎn)型升級的創(chuàng)新之路；我們這些擁有20多年MEMS產(chǎn)業(yè)經(jīng)驗(yàn)的行業(yè)老兵，懷著一份愛國情懷，也希望能夠助力國內(nèi)MEMS產(chǎn)業(yè)的騰飛。”

　　“我們的8英寸MEMS產(chǎn)線是中國第一條也是唯一一條專注于MEMS的大規(guī)模產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)線，對于中國MEMS產(chǎn)業(yè)的發(fā)展具有重要的戰(zhàn)略意義，”罕王微電子全球首席市場/營銷總監(jiān)Laura Kendall女士補(bǔ)充道，“它不僅能為國內(nèi)的MEMS企業(yè)節(jié)約進(jìn)出口稅等額外成本，更重要的是提供了完全本地化的服務(wù)，為國內(nèi)MEMS企業(yè)帶來了世界最先進(jìn)的MEMS制造技術(shù)和行業(yè)經(jīng)驗(yàn)，大大縮短了產(chǎn)品交付時(shí)間；同時(shí)，我們也在大舉招募國內(nèi)MEMS人才，為國內(nèi)MEMS產(chǎn)業(yè)培養(yǎng)一批制造精英。”

　　目前，這條8英寸產(chǎn)線的產(chǎn)能已經(jīng)達(dá)到10000片晶圓/月，在未來的產(chǎn)能規(guī)劃方面，這條產(chǎn)線在滿足罕王微電子的產(chǎn)能需求的基礎(chǔ)上，還將對外提供代工服務(wù)。得益于遍布全球的市場資源，罕王微電子為國內(nèi)的MEMS初創(chuàng)企業(yè)提出了一種“代工+市場”的全新服務(wù)模式。MEMS初創(chuàng)企業(yè)可以僅專注于MEMS設(shè)計(jì)開發(fā)，器件的制造及未來的市場開拓可以由罕王提供一站式服務(wù)。

　　罕王微電子目前的主要產(chǎn)品包括汽車、消費(fèi)電子、無人機(jī)慣性導(dǎo)航應(yīng)用的HKE21000系列6軸慣性測量單元。其6軸慣性測量單元憑借無與倫比的精度和可靠性，在要求極其嚴(yán)苛的F1（一級方程式賽車）賽場，贏得了國際頂尖賽車制造商的青睞。而在無人機(jī)慣導(dǎo)領(lǐng)域的市場占有率更是已經(jīng)達(dá)到了90%。

　　全球化的罕王微電子未來將針對消費(fèi)電子、無人機(jī)等物聯(lián)網(wǎng)應(yīng)用推出集成MCU（微控制器）的智能6軸慣性測量單元。隨著自動(dòng)駕駛汽車和ADAS系統(tǒng)的發(fā)展，以及各國政府對新車評價(jià)規(guī)程（N-CAP）的日趨嚴(yán)格，各種汽車主被動(dòng)安全應(yīng)用逐漸成為標(biāo)配，罕王微電子將針對這些汽車安全應(yīng)用推出低噪音、低延時(shí)的新款HKE31000系列和HKE33000系列高性能慣性測量單元。

　　Douglas Sparks博士簡介

　　Douglas Sparks博士擁有美國普渡大學(xué)（Purdue University）材料科學(xué)和工程博士學(xué)位，發(fā)表過100余篇科技論文，并擁有47件美國專利。Douglas Sparks博士在美國、日本和歐洲的汽車、醫(yī)療和工業(yè)應(yīng)用領(lǐng)域從事MEMS工作20余年。自2011年起加入罕王微電子，任執(zhí)行副總裁。在加入罕王之前，Douglas Sparks博士曾歷任NanoGetters公司創(chuàng)始人兼總裁，Integrated Sensing Systems公司執(zhí)行副總裁，負(fù)責(zé)公司微流控產(chǎn)品線。他還在Delphi Automotive System公司（德爾福汽車系統(tǒng)）和Delco Electronics公司（德科電子）從事過MEMS、晶圓制造和IC開發(fā)工作。