如何設(shè)置自動(dòng)測(cè)試向量生成 (ATPG) 的目標(biāo)指標(biāo)

DFT 工程師長(zhǎng)期面臨的挑戰(zhàn)：

? 如何設(shè)置自動(dòng)測(cè)試向量生成 (ATPG) 的目標(biāo)指標(biāo)

? 如何針對(duì)不同的故障選擇最佳向量集，以獲得最佳結(jié)果

DFT 團(tuán)隊(duì)可能花費(fèi)數(shù)年時(shí)間建立 ATPG 目標(biāo)——可能包括覆蓋率目標(biāo)、向量大小或其他一些指標(biāo)——但僅適用于定值型和轉(zhuǎn)態(tài)型故障模型。當(dāng)引入新的重要故障模型時(shí)，需要針對(duì)新的工藝節(jié)點(diǎn)調(diào)整目標(biāo)。公司如何決定為其設(shè)定什么目標(biāo)？如果您想應(yīng)用針對(duì)新故障模型的向量樣本，有哪些是可以嘗試的最佳向量？使用更新的模型會(huì)使故障模型目標(biāo)指標(biāo)的設(shè)置變得越發(fā)復(fù)雜。這些都是當(dāng)今面臨的現(xiàn)實(shí)和普遍問題。ATPG 工具用戶需要一種簡(jiǎn)單的方法來確定針對(duì)特定故障的最佳向量組合以及需要試驗(yàn)?zāi)男┫蛄繕颖尽?/p>

近年來，業(yè)內(nèi)引入了具有獨(dú)特的生產(chǎn)缺陷檢測(cè)功能的新型掃描測(cè)試方法。幸運(yùn)的是，有一種度量向量值的方法可以基于物理缺陷發(fā)生的可能性對(duì)檢測(cè)缺陷的向量進(jìn)行一致、對(duì)等的評(píng)估。該方法使用與向量檢測(cè)到的故障相關(guān)的總關(guān)鍵區(qū)域 (TCA)。

TCA 提供了一個(gè)通用指標(biāo)來評(píng)估向量對(duì) DPM 的影響，可用于對(duì)向量進(jìn)行分類或排序，從而針對(duì)給定數(shù)量的向量實(shí)現(xiàn)最低的 DPM。通過使用 TCA，即便向量數(shù)量和原始向量集相同，仍可搭配針對(duì)新故障模型的向量，得到更有效的向量集。您可以基于向量檢測(cè)物理缺陷的能力，從整個(gè)向量集中選擇或分類出最有效的向量。與傳統(tǒng)方法相比，根據(jù)檢測(cè)物理缺陷的可能性進(jìn)行衡量，基于 TCA 的向量選擇和排序可提供更快的覆蓋率爬升，如圖 1 所示。

圖 1. 與傳統(tǒng)方法（紅色實(shí)線）相比，TCA 加權(quán)向量排序（綠色虛線）加快了覆蓋率爬升。

編輯：黃飛

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