作者:羅寧勝 ,曹建武;CISSOID中國(guó)代表處,深圳 518118 ? ? ? ? ?
隨著碳化硅半導(dǎo)體技術(shù)的進(jìn)步,航空電子系統(tǒng)也呈現(xiàn)了新的發(fā)展趨勢(shì)。碳化硅功率器件的成熟極大地促進(jìn)了航空機(jī)載傳感器、執(zhí)行機(jī)構(gòu)和控制系統(tǒng)以及電源系統(tǒng)設(shè)計(jì)等層面的演進(jìn),具體體現(xiàn)在航空電子控制系統(tǒng)和電源系統(tǒng)從集中到分布式的轉(zhuǎn)變,以及執(zhí)行機(jī)構(gòu)從液壓或氣動(dòng)到電機(jī)驅(qū)動(dòng)的轉(zhuǎn)變這一航空電子系統(tǒng)的總體趨勢(shì)。特別是高溫SOI半導(dǎo)體和碳化硅功率器件的結(jié)合,其整體的耐高溫性能將能很好地滿足多電和全電飛機(jī)航空電子系統(tǒng)的設(shè)計(jì)需求。
過(guò)去十余年以來(lái),飛機(jī)的燃料成本增加了約50%;2020年之后,更因?yàn)槿蚬?yīng)鏈的劇烈變化,航空燃油價(jià)格繼續(xù)飆升,預(yù)期2022年全球商業(yè)航空因?yàn)槿加统杀驹斐傻奶潛p,將會(huì)高達(dá)數(shù)十億美元。為了增加可維性、減低重量、提高燃油效率,進(jìn)而增加續(xù)航里程、降低排放,并節(jié)約商業(yè)飛行成本,飛機(jī)系統(tǒng)設(shè)計(jì)需要進(jìn)行革命性的升級(jí),由此,各項(xiàng)先進(jìn)研究項(xiàng)目早以展開。其中,極具代表性的歐盟清潔天空聯(lián)合創(chuàng)新項(xiàng)目(Clean Sky joint Technology Initiative)肇始于2008年,集合了發(fā)達(dá)國(guó)家的多數(shù)頭部企業(yè),現(xiàn)已歷經(jīng)兩期(Clean Sky 2008-2017和Clean Sky2 2014-2024), 其目標(biāo)不僅是降低商業(yè)飛行的運(yùn)營(yíng)成本,而且還要顯著地降低排放,其預(yù)期到2050年實(shí)現(xiàn)降低75%的CO2排放、90%的NOx排放。該項(xiàng)目中有些部分已采用了DO-160 (Environment Conditions and Test Procedures for Airborne Equipment)標(biāo)準(zhǔn),其中已要求某些機(jī)載電子元器件在200℃ 環(huán)境中工作壽命要達(dá)到或超過(guò)50000飛行小時(shí)。
越來(lái)越多的高溫電子元器件的使用主要為了支持實(shí)現(xiàn)新型的飛機(jī)系統(tǒng)設(shè)計(jì)。這樣,在承載同等或更高載荷的條件下,可降低飛機(jī)的自身重量;為能實(shí)施更為精細(xì)的發(fā)動(dòng)機(jī)控制,提高發(fā)動(dòng)機(jī)的燃油效率,因而控制系統(tǒng)需要從傳統(tǒng)的集中式“全權(quán)數(shù)字發(fā)動(dòng)機(jī)控制”(Full Authority Digital Engine Control,F(xiàn)ADEC)向“分布式”FADEC演進(jìn);為了減輕重量和配合飛機(jī)整體分布式設(shè)計(jì),原有的液壓或氣動(dòng)部件也在逐漸轉(zhuǎn)向電機(jī)驅(qū)動(dòng)。
航空電子技術(shù)所依賴的電子元器件的工作溫度范圍和工作壽命,直接影響著飛機(jī)的系統(tǒng)設(shè)計(jì):過(guò)去,航空應(yīng)用只能在成熟的、經(jīng)過(guò)驗(yàn)證的軍標(biāo)溫度范圍(-55~+125°C)內(nèi)選擇電子元器件,而高溫半導(dǎo)體技術(shù)近年來(lái)得到了長(zhǎng)足進(jìn)步,特別是高溫“絕緣層上硅”(Silicon On Insulator,SOI)技術(shù),還有“碳化硅”(Silicon Carbide,SiC)、 “氮化鎵”(Gallium Nitride,GaN)等第三代“寬禁帶”(Wide BandGap,WBG)半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展,使得-55~+175°C甚或-55~+225°C,或者更高溫度范圍的電子器件日益涌現(xiàn),給航空機(jī)載電子設(shè)備的設(shè)計(jì)打開了一扇新的窗口:這些技術(shù)使得因更小體積、更高功率密度而需耐受更高溫度的航空電子設(shè)備的設(shè)計(jì),成為可能。
航空應(yīng)用對(duì)高溫電子技術(shù)的要求
航空系統(tǒng)上的高溫,通常有如下三個(gè)來(lái)源:
·第一,來(lái)自飛機(jī)的動(dòng)力系統(tǒng),即飛機(jī)的引擎和排氣裝置。引擎燃燒室的溫度可以高達(dá)幾千度,飛機(jī)控制系統(tǒng)需要實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)燃燒的狀態(tài),通過(guò)調(diào)節(jié)燃料和空氣的比例來(lái)控制燃燒過(guò)程,以求實(shí)現(xiàn)最高的燃燒效率。為了實(shí)現(xiàn)對(duì)引擎高效的實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)和控制,相關(guān)傳感器和電子器件需要盡可能地靠近引擎,視具體配置位置,有可能需要耐受300~600°C的高溫;
·第二,飛機(jī)在高速飛行時(shí),飛機(jī)表面與空氣摩擦生熱。超音速飛行時(shí),機(jī)體表面的溫度可高達(dá)200℃以上;超音速飛行的飛行器在大氣環(huán)境中降速時(shí),機(jī)體前端由于空氣的壓力和摩擦所產(chǎn)生的熱量尤其大,往往還需要配備額外的熱防護(hù)層;
·第三,是電子元器件自身發(fā)熱。所有電子元器件都有一定的內(nèi)部耗散功率,如果導(dǎo)熱和散熱設(shè)計(jì)不良,特別是在高空飛行的空氣稀薄的環(huán)境,設(shè)備內(nèi)部的溫升過(guò)高,將會(huì)導(dǎo)致非常嚴(yán)重的可靠性問(wèn)題。
面對(duì)飛機(jī)上的熱源和高溫環(huán)境,為了保護(hù)其電子元器件,傳統(tǒng)的做法是在布置電子設(shè)備時(shí)盡量規(guī)避高溫區(qū),或外加熱防護(hù)系統(tǒng),如配備環(huán)境控制系統(tǒng)(Environment Control System, ECS)。例如,在早期的集中式FADEC系統(tǒng)中,發(fā)動(dòng)機(jī)周邊的傳感器信號(hào),被用屏蔽電纜饋送到遠(yuǎn)端的中央處理機(jī)處,而中央處理機(jī)一般安裝在有空調(diào)或冷卻裝置控制溫度的艙室中。當(dāng)所有的傳感和執(zhí)行信號(hào)都必須送到一個(gè)中央處理機(jī)進(jìn)行集中處理時(shí),飛機(jī)上就要布設(shè)復(fù)雜、龐大的線束,既占用飛機(jī)的寶貴體積,也增加了飛機(jī)的重量,并帶來(lái)了更多的可靠性、安全性問(wèn)題。
在某些受限的情況下,溫度問(wèn)題就成了設(shè)計(jì)瓶頸。例如,飛機(jī)的武器系統(tǒng)通常被安放或掛載于機(jī)翼和機(jī)體下方,其電子控制裝置通常已經(jīng)沒有空間去配備冷卻系統(tǒng)了;即便有些情況下可以配置冷卻裝置,鋪設(shè)的液體管道和線束,也會(huì)帶來(lái)復(fù)雜的可靠性問(wèn)題。
對(duì)技術(shù)平衡點(diǎn)的選擇歷來(lái)是工程設(shè)計(jì)中的一個(gè)復(fù)雜的綜合考慮過(guò)程。目前,基于傳統(tǒng)體硅半導(dǎo)體性能,航空應(yīng)用一般將環(huán)境溫度極限標(biāo)準(zhǔn)定格在最高110℃,而最高結(jié)溫為125℃以下,實(shí)際上,現(xiàn)在許多航空應(yīng)用將結(jié)溫控制在約60℃左右,主要原因受限于體硅半導(dǎo)體器件的性能。要維護(hù)電子元器件的限制溫度對(duì)飛機(jī)是很大的負(fù)擔(dān),尤其是在空間受限的機(jī)翼區(qū)域則更加困難。冷卻系統(tǒng)通常需要占用飛機(jī)重量的10%(功率約50KW),嚴(yán)重影響飛機(jī)的整體性能。如果能將殼體允許最高溫度僅提升至150℃,并適當(dāng)提高結(jié)溫的控制溫度點(diǎn),也許有一些位置的冷卻裝置和環(huán)境控制系統(tǒng)就不再需要了。這樣一來(lái),體積、重量、功耗和成本都可以節(jié)省??傊?,電子元器件的耐高溫性能對(duì)飛機(jī)整體性能的改進(jìn)有著很大的影響。
在實(shí)際設(shè)計(jì)應(yīng)用系統(tǒng)的時(shí)候,人們總是會(huì)受到材料的限制,而必須作相應(yīng)的綜合考慮和妥協(xié)以實(shí)現(xiàn)可接受的設(shè)計(jì)。也就是通過(guò)平衡材料和技術(shù)的極限,正如通過(guò)平衡機(jī)體材料的強(qiáng)度和重量,懷特兄弟能夠?qū)崿F(xiàn)他們的首次飛行。之后人們通過(guò)不斷地采用新材料和新技術(shù),不斷在新的平衡點(diǎn)實(shí)現(xiàn)新型的飛機(jī)設(shè)計(jì),不斷改進(jìn)和創(chuàng)造出新型飛機(jī)。航空電子系統(tǒng)的作用也就是如此,它作為現(xiàn)代飛機(jī)的重要部件,關(guān)系到飛機(jī)的發(fā)動(dòng)機(jī)和飛行狀態(tài)控制、通訊遙感和導(dǎo)航、武器系統(tǒng)(如火控、制導(dǎo)和電子對(duì)抗)等等。飛機(jī)的應(yīng)用目標(biāo)和環(huán)境對(duì)電子元器件有其特殊的要求,往往新型的電子器件不僅能提升飛機(jī)的效率,而且還能促成實(shí)現(xiàn)全新的設(shè)計(jì)理念。因此,耐高溫的電子元器件也一直為航空航天領(lǐng)域所重視。
從1970年代起,基于機(jī)械、液壓驅(qū)動(dòng)和混合模擬發(fā)動(dòng)機(jī)控制的數(shù)字化、集中式FADEC已經(jīng)走過(guò)了60多年,目前已經(jīng)是各種飛機(jī)電子控制系統(tǒng)的標(biāo)配。近年來(lái)該領(lǐng)域的發(fā)展轉(zhuǎn)向了“分布式FADEC”,這主要是因?yàn)椋?/p>
·飛機(jī)減重的要求。經(jīng)典的FADEC要求需要通過(guò)笨重的屏蔽線束回傳傳感器信號(hào),經(jīng)過(guò)中央計(jì)算機(jī)的計(jì)算、處理,發(fā)布指令指示執(zhí)行機(jī)構(gòu)進(jìn)行動(dòng)作,這些傳輸需要復(fù)雜、昂貴、笨重的多芯線束和連接器,既占用了較大的體積和重量,也帶來(lái)了更多的可靠性問(wèn)題;先進(jìn)的飛機(jī)越來(lái)越多的采用分布式FADEC以獲得顯著的改善。在分布式FADEC體系中,信號(hào)經(jīng)常只需使用4線制的輕量線束傳輸(一對(duì)差分?jǐn)?shù)字信號(hào),一對(duì)電源和地線),大大簡(jiǎn)化了線束,消滅了傳統(tǒng)航空接插件的絕大多數(shù)額外的引腳,既簡(jiǎn)化了防護(hù),又顯著的減少了接插件的數(shù)目和重量;
·分布式控制要求傳感器和執(zhí)行機(jī)構(gòu),甚至其電源管理系統(tǒng)盡量分散且接近任務(wù)現(xiàn)場(chǎng)。例如,發(fā)動(dòng)機(jī)信號(hào)測(cè)量需要緊鄰發(fā)動(dòng)機(jī)(環(huán)境溫度高達(dá)300-600°C),而機(jī)翼動(dòng)作執(zhí)行機(jī)構(gòu)需要貼近目標(biāo)機(jī)翼,等等。這些地方往往無(wú)法配備水冷機(jī)構(gòu),只能依賴風(fēng)冷或機(jī)體背板自然冷卻,因而需要電氣系統(tǒng)具備耐高溫特性;
另外,執(zhí)行機(jī)構(gòu)的電氣化也使得分布式設(shè)計(jì)越來(lái)越容易達(dá)成,其系統(tǒng)響應(yīng)速度遠(yuǎn)遠(yuǎn)高于傳統(tǒng)的集中式系統(tǒng)架構(gòu)。過(guò)去飛機(jī)的調(diào)姿轉(zhuǎn)向等動(dòng)作主要依靠液壓或氣動(dòng)部件實(shí)現(xiàn),這些部件依賴于精密機(jī)械配合,制造成本高、故障率高而可維性差;而電機(jī)驅(qū)動(dòng)式的“固態(tài)”執(zhí)行器,響應(yīng)速度快,重量輕體積小,故障率低而可維性高;據(jù)估計(jì),一體化的電機(jī)執(zhí)行器響應(yīng)時(shí)間僅為液壓執(zhí)行器的五分之一以下,同等驅(qū)動(dòng)功率時(shí)的體積和重量?jī)H為后者的三分之一以下。基于體積重量和可靠性的原因,飛機(jī)中的電機(jī)系統(tǒng)一般不允許再配備液體冷卻機(jī)構(gòu),只能依靠風(fēng)冷和背板自然冷卻,因此其配備的電力電子的耐高溫能力面臨很大的挑戰(zhàn)。
總之,飛機(jī)系統(tǒng)因自身高溫環(huán)境(如發(fā)動(dòng)機(jī)周邊)傳統(tǒng)上需要高溫器件支持之外,近年來(lái)飛機(jī)系統(tǒng)的分布式控制設(shè)計(jì)趨勢(shì),和執(zhí)行系統(tǒng)由液壓和氣壓傳動(dòng)向電機(jī)傳動(dòng)轉(zhuǎn)變的趨勢(shì),都在推動(dòng)著對(duì)高溫電子技術(shù)的新的需求。
高溫電子技術(shù)的現(xiàn)狀與發(fā)展
提高電子設(shè)備的最高工作溫度等級(jí)需要面對(duì)頗多技術(shù)挑戰(zhàn)。這些挑戰(zhàn)涉及高溫電子技術(shù)的各個(gè)方面,包括高溫半導(dǎo)體芯片的設(shè)計(jì)、制造和封裝,耐高溫的被動(dòng)元件,焊接和組裝的材料和工藝,以及從芯片到模塊、再到電路板,乃至系統(tǒng)級(jí)別的熱設(shè)計(jì)和熱管理等等。
高溫電子技術(shù)的核心是高溫半導(dǎo)體芯片技術(shù)。當(dāng)環(huán)境溫度升高到150-200℃時(shí),硅基的本征載流子濃度顯著升高,不僅硅基襯底幾乎完全導(dǎo)電,而且PN結(jié)勢(shì)壘也接近消失,從而導(dǎo)致半導(dǎo)體的基本功能崩潰,幾乎完全導(dǎo)電而淪為“導(dǎo)體”。因此,普通體硅半導(dǎo)體是不適合高溫應(yīng)用的。目前成熟且已實(shí)現(xiàn)大規(guī)模商業(yè)化的高溫半導(dǎo)體芯片技術(shù)主要有兩種,一是高溫SOI技術(shù),另一是寬禁帶半導(dǎo)體技術(shù)(如SiC和GaN)。前者適合于做高溫集成電路器件,后者適合于做高溫功率器件,兩者是很好的互補(bǔ)。
- 高溫SOI 技術(shù)
SOI 是一種用于集成電路制造的新型原材料和工藝,有望替代目前大量應(yīng)用的體硅工藝。如圖1(a)所示體硅MOSFET結(jié)構(gòu),相比之下,SOI工藝在襯底結(jié)構(gòu)中增加了一個(gè)絕緣體夾層,其上方一層為有源硅層,而下方的硅層只是起到支撐作用,如圖1(b)所示。該絕緣夾層可以由SiO2、氮化硅、Al2O3或其它絕緣材料構(gòu)建,取決于具體的實(shí)現(xiàn)工藝。由于硅與SiO2的結(jié)合界面性能穩(wěn)定,所以SiO2成為了目前常見的主流SOI絕緣層材料。SOI結(jié)構(gòu)中的SiO2絕緣層,有效地減小了MOSFET漏極和源極的實(shí)際PN結(jié)面積,使得漏極和源極的反向泄漏電流大大降低,為高溫性能的提升奠定了基礎(chǔ)。另外,可通過(guò)工藝和材料的選擇來(lái)加固其高溫工作的可靠性。
圖1 (a)N溝道MOSFET體硅工藝;(b)N溝道SOI工藝
SOI獨(dú)特的“Si/絕緣層/Si”三層結(jié)構(gòu),帶來(lái)了諸多優(yōu)勢(shì):首先,“絕緣埋層”實(shí)現(xiàn)了器件功能有源部分和襯底的全介質(zhì)隔離,減小了寄生電容,開關(guān)頻率得以提高;其次,由于較小的PN結(jié)面積,顯著降低了泄漏電流,SOI 器件的自身耗散也減小了; 再者,絕緣層的存在隔斷了有源部分通過(guò)硅襯底而互通的電流通道,徹底消除了“閂鎖”(Latch Up)效應(yīng);另外,絕緣夾層結(jié)構(gòu)抑制了硅襯底產(chǎn)生的脈沖電流干擾(如輻射粒子激發(fā)等),減少了偶發(fā)錯(cuò)誤的產(chǎn)生,具很好的抗輻照特性;最后,SOI與現(xiàn)有體硅工藝設(shè)備、流程基本兼容(除少數(shù)高溫SOI器件工藝需要特殊設(shè)備外),具備極佳的商業(yè)量產(chǎn)可實(shí)施性。
目前,基于SOI(Silicon on Insulator,絕緣層上硅)的獨(dú)特高溫半導(dǎo)體技術(shù),已全面突破了普通體硅半導(dǎo)體器件的溫度困境,有效地消除了溫度載流子效應(yīng)對(duì)器件性能的影響。通過(guò)對(duì)SOI器件進(jìn)行適當(dāng)?shù)臉?gòu)造和工藝設(shè)計(jì),如盡可能減少源漏間結(jié)面積和耗盡區(qū)寬度,可大幅地減小了反向泄漏電流,極大地提升器件的各項(xiàng)高溫性能;同時(shí)采用高激活能材料的金屬系統(tǒng),實(shí)施鈍化膜保護(hù)工藝等等,可大幅地提高器件的高溫可靠性;目前,基于SOI工藝的半導(dǎo)體器件,商業(yè)實(shí)現(xiàn)普遍做到了225°C,部分研發(fā)實(shí)現(xiàn)了300°C,少數(shù)前沿探索正在向400°C的穩(wěn)定實(shí)現(xiàn)演進(jìn)。高溫SOI技術(shù)已被廣泛應(yīng)用于石油鉆探、航空航天、國(guó)防裝備等尖端領(lǐng)域。
- SiC和GaN器件的特性
作為“第三代”、“寬禁帶”半導(dǎo)體材料,SiC和GaN器件具有若干先天的優(yōu)點(diǎn),這些優(yōu)點(diǎn)來(lái)自于對(duì)應(yīng)材料的本質(zhì)特性,參見圖2:
圖2 SiC、GaN和體硅的本質(zhì)特性之比較
圖2中可見,SiC和GaN新型半導(dǎo)體材料幾乎在每個(gè)基礎(chǔ)指標(biāo)上都顯著超越了體硅,特別是SiC材料,在熱導(dǎo)率、熔點(diǎn)方面的效能,幾乎為體硅的2.5~3倍。很寬的禁帶寬度使得SiC和GaN天生就比體硅器件更耐高溫;從現(xiàn)有產(chǎn)品的額定結(jié)溫來(lái)看,基于體硅的半導(dǎo)體器件,例如軍品級(jí),一般都標(biāo)注為最高結(jié)溫125℃,而普通的SiC和GaN器件,多數(shù)都標(biāo)注為175℃,少數(shù)標(biāo)注為200℃;其實(shí),SiC和GaN器件可工作溫區(qū)遠(yuǎn)不止于此,其管芯本身可在500℃甚至更高溫度下長(zhǎng)期穩(wěn)定地工作;而目前175℃、200℃的額定溫度,是受到封裝技術(shù)及應(yīng)用成本的限制。隨著業(yè)界高溫封裝產(chǎn)業(yè)能力的提升,更高溫度等級(jí)的SiC和GaN器件將很快得到普及。
- CISSOID的SiC MOSFET IPM
高溫SOI器件已經(jīng)獲得了完全的商業(yè)化生產(chǎn)和供應(yīng)。以CISSOID公司為例,其從事高溫SOI器件的設(shè)計(jì)和制造,已有20多年歷史;目前已能提供10多個(gè)種類100多個(gè)型號(hào)的高溫SOI器件,包括二極管、MOSFETs、電壓參考器、電壓調(diào)節(jié)器、PWM控制器、柵極驅(qū)動(dòng)器、模數(shù)轉(zhuǎn)換器、比較器、運(yùn)算放大器、邏輯器件、時(shí)鐘發(fā)生器和計(jì)時(shí)器等等。根據(jù)封裝形式的不同,分為兩大系列:CMT系列為高溫塑膠材質(zhì)封裝,最高結(jié)溫為175℃;而CHT系列則為金屬陶瓷封裝,最高結(jié)溫為225℃。綜合平衡管芯和封裝的設(shè)計(jì)和現(xiàn)有產(chǎn)業(yè)化工藝條件,目前CISSOID所提供的高溫SOI器件的高溫工作壽命可達(dá)約15年(最高結(jié)溫175℃),或約5.5年(最高結(jié)溫225℃),又或約2.5年(最高結(jié)溫250℃),以及約1.3年(最高結(jié)溫280℃);其規(guī)律是,近乎于溫度每升高25℃,器件壽命將約減少一半;在300℃以上時(shí),其SOI器件也還有幾千小時(shí)的工作壽命。
另一方面,近年新興的寬禁帶化合物半導(dǎo)體(SiC、GaN等),天生具有卓越的高溫性能,其工作溫度已被實(shí)驗(yàn)證明可達(dá)500℃甚至更高,而以SiC器件的高溫性能最為杰出。近期,SiC的商業(yè)化進(jìn)展程度也表現(xiàn)尤為突出,由電動(dòng)汽車應(yīng)用的大量需求所推動(dòng),SiC器件已經(jīng)開始了大規(guī)模量產(chǎn)和全面普及,必然在電力電子應(yīng)用的各個(gè)領(lǐng)域逐步替代傳統(tǒng)的體硅IGBT功率器件。
SiC功率器件高溫應(yīng)用的高溫封裝技術(shù)也在加速演進(jìn)。為了配合這一發(fā)展的整體趨勢(shì),CISSOID 公司利用其高溫SOI的技術(shù)優(yōu)勢(shì),開發(fā)了專為降低開關(guān)損耗并提高功率密度、風(fēng)冷型三相全橋碳化硅SiC MOSFET智能功率模塊(IPM)技術(shù)平臺(tái)系列(圖3)。針對(duì)航空航天領(lǐng)域的風(fēng)冷應(yīng)用,部分IPM采用了平面基板,可以方便地結(jié)合到散熱器或框架結(jié)構(gòu)上。該IPM技術(shù)平臺(tái)可迅速調(diào)配以適應(yīng)不同的電壓、功率檔級(jí),極大地加速了基于SiC的功率轉(zhuǎn)換器的設(shè)計(jì),實(shí)現(xiàn)更高效率和更高功率密度。
圖3:帶有平面底板的SiC智能功率模塊
智能功率模塊(IPM)意味著功率模塊和柵極驅(qū)動(dòng)器的集成。功率模塊和柵極驅(qū)動(dòng)器的協(xié)同設(shè)計(jì)能夠通過(guò)仔細(xì)調(diào)節(jié)dv/dt和控制快速開關(guān)固有的電壓過(guò)沖來(lái)優(yōu)化IPM,以實(shí)現(xiàn)最低開關(guān)能量損耗。CISSOID的柵極驅(qū)動(dòng)器是基于高溫SOI半導(dǎo)體技術(shù)開發(fā)的,具有獨(dú)特的耐高溫穩(wěn)定性,可與耗散數(shù)百瓦的功率組件緊密集成。這樣,有助于減少柵極環(huán)路寄生電感,實(shí)現(xiàn)快速開關(guān)和降低開關(guān)損耗,并避免寄生導(dǎo)通的風(fēng)險(xiǎn)。CISSOID的柵級(jí)驅(qū)動(dòng)器配有負(fù)驅(qū)動(dòng)和有源米勒鉗位(AMC)、去飽和檢測(cè)(DeSAT)、軟關(guān)斷(SSD)等防護(hù)保護(hù)機(jī)制,還有欠壓鎖定(UVLO)、DC總線電壓監(jiān)視系統(tǒng)及模塊內(nèi)部的溫度監(jiān)控等。通過(guò)提供匹配的整合的方案,CISSOID的IPM平臺(tái)使客戶能夠大大加快他們的系統(tǒng)設(shè)計(jì)。
CISSOID 的高溫SOI半導(dǎo)體芯片技術(shù),是高功率風(fēng)冷IPM模塊成為可能的前提 (型號(hào):CMT-PLA3SB340AA和CMT-PLA3SB340CA);這些型號(hào)是專為無(wú)法使用液體冷卻,例如航空機(jī)電執(zhí)行器和功率轉(zhuǎn)換器的高溫應(yīng)用而設(shè)計(jì)的。這些型號(hào)的額定阻斷電壓為1200V,最大連續(xù)電流為340A;導(dǎo)通電阻僅有3.25mΩ和2.67mΩ,標(biāo)稱開關(guān)損耗則僅為8.42mJ和7.05mJ (在600 V/300A條件下)。該功率模塊的額定結(jié)溫為175℃,柵極驅(qū)動(dòng)器的額定環(huán)境溫度為125℃,通過(guò)AlSiC扁平底板冷卻,熱阻較低、耐熱性強(qiáng)。另外,依據(jù)應(yīng)用條件和場(chǎng)景的需求,通過(guò)更換更高溫度等級(jí)的被動(dòng)元器件和主要芯片及模塊的封裝,CISSOID的IPM還可以進(jìn)一步提升運(yùn)行溫度等級(jí)。此外,CISSOID也正在開發(fā)單相和兩相的IPM模塊,以便于靈活地組合成不同的電力拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)來(lái)針對(duì)各種不同的應(yīng)用。
航空領(lǐng)域的典型應(yīng)用
- 分布式執(zhí)行控制系統(tǒng)和配電方式
參考前文,目前先進(jìn)飛機(jī)的設(shè)計(jì)越來(lái)越多地趨于采用分布式設(shè)計(jì)。分布式系統(tǒng)可以就地收集發(fā)動(dòng)機(jī)狀態(tài),及飛機(jī)體內(nèi)和蒙皮的各種傳感器信號(hào),通過(guò)數(shù)字化等處理后,經(jīng)由統(tǒng)一的數(shù)據(jù)總線傳送給主機(jī)。就地處理意味著傳感器和執(zhí)行器更為接近前端現(xiàn)場(chǎng),而那些位置通常無(wú)法配備冷卻系統(tǒng)。
因此,分布式系統(tǒng)更需要耐高溫的傳感控制驅(qū)動(dòng)單元,這往往需要耐溫200℃以上的電子元器件,及同等溫度等級(jí)的連接器、線纜等輔助材料。首先采用高溫電子器件將傳感模擬信號(hào)數(shù)字化,例如有關(guān)發(fā)動(dòng)機(jī)運(yùn)行狀態(tài)的溫度、壓力、燃料供給和效率等等,都需要前端采集模擬傳感信號(hào)并數(shù)字化后經(jīng)過(guò)數(shù)字總線上傳;反之,經(jīng)過(guò)中央控制器計(jì)算下達(dá)的動(dòng)作指令,也通過(guò)數(shù)字總線傳輸?shù)轿挥谇岸爽F(xiàn)場(chǎng)的執(zhí)行部件。
分布式系統(tǒng)的益處:第一,通過(guò)數(shù)字化傳輸簡(jiǎn)化了飛機(jī)線束,減少了大量笨重的屏蔽線纜饋線;第二,顯著減少了各部件之間的連接器數(shù)目,在減重的同時(shí)也提高可靠性;第三,控制單元分散布局,相比集中控制,提高了飛機(jī)的生存能力;第四,減少或消除了諸多水冷裝置,能夠大大地減少體積和重量。
類似于執(zhí)行控制系統(tǒng)的分布式,飛機(jī)配電也趨向采用分布式,即飛機(jī)上除了一個(gè)電源中心外, 還有若干個(gè)分中心,每個(gè)電源分中心由電源二次分配組件SPDA(Secondary Power Distribution Assembly)和遠(yuǎn)程電源分配組件RPDU(Remote Power Distribution Unit)進(jìn)行控制。這種配電方式的控制設(shè)備和控制邏輯會(huì)較為復(fù)雜,但大大減輕了配電導(dǎo)線的重量,且因負(fù)載端接近不同的電源中心,其負(fù)載電壓也容易保持穩(wěn)定。然而,負(fù)載端也許不具備很好的冷卻環(huán)境,這樣就需要其電力電子有很好的耐高溫能力。
- 多電飛機(jī)的電機(jī)驅(qū)動(dòng)和電源變換器
傳統(tǒng)飛機(jī)的舵面、翼面等姿態(tài)操控,都是由液壓和氣壓驅(qū)動(dòng)的機(jī)械裝置完成的;此外,在發(fā)動(dòng)機(jī)轉(zhuǎn)向噴口及發(fā)動(dòng)機(jī)反推動(dòng)作控制,以及艙門、起落架、剎車及地面轉(zhuǎn)向駕駛等處,也還大量地使用了液壓或氣壓部件。液壓和氣壓裝置的弱點(diǎn)在于其密封,由于采用流體或氣體傳遞壓力,因而傳遞效率較低,故障率高,且不適合遠(yuǎn)距離傳動(dòng);僅以液壓為例,液壓系統(tǒng)對(duì)油溫變化較為敏感,運(yùn)動(dòng)部件的速度不易保持穩(wěn)定;液壓系統(tǒng)的體積和重量龐大,受環(huán)境影響很大并且維護(hù)成本很高。目前,新型設(shè)計(jì)已趨向于部分或全部地實(shí)現(xiàn)電氣化,用電機(jī)驅(qū)動(dòng)替代機(jī)械式的液壓和氣壓執(zhí)行機(jī)構(gòu),此即多電飛機(jī)的概念。
電機(jī)驅(qū)動(dòng)全固態(tài)化,響應(yīng)快,并且可靠性高、可維護(hù)性強(qiáng),方便冗余備份設(shè)計(jì);電機(jī)驅(qū)動(dòng)還可以大大減小部件的體積和重量,這對(duì)飛機(jī)本身尤為重要。另外,電氣化也使分布式執(zhí)行控制更容易實(shí)現(xiàn)。
然而,多電飛機(jī)上的電機(jī)和電控一般不充許再配備液冷,只能依靠強(qiáng)制風(fēng)冷和背板散熱器冷卻;舊式的飛機(jī)可以利用液壓油路系統(tǒng)兼職冷卻,而現(xiàn)在改為電驅(qū)動(dòng)執(zhí)行部件,消除了液壓體系,如果再專門配置液冷系統(tǒng)來(lái)保證散熱,那就是走回頭路、做無(wú)用功了。因此,實(shí)現(xiàn)多電或全電飛機(jī)的電控設(shè)計(jì),第一個(gè)面對(duì)的技術(shù)挑戰(zhàn)就是功率和驅(qū)動(dòng)電路的耐高溫設(shè)計(jì);耐高溫SOI驅(qū)動(dòng)器件和電路匹配以碳化硅功率模塊,為解決這一航空領(lǐng)域的技術(shù)難題鋪平了道路。
除電機(jī)驅(qū)動(dòng)外,多電飛機(jī)對(duì)電力電子變換器也提出了新的要求。多電飛機(jī)的主要電源采用變頻交流電源或高壓直流電源,容量可高達(dá)幾十乃至幾百KW級(jí),用電設(shè)備大幅度增加,因此需要各種不同類型的電力電子變換器進(jìn)行電能變換,包括AC/DC、DC/DC、DC/AC、AC/AC和固態(tài)開關(guān)等。基于Si的傳統(tǒng)電力電子器件已不再能滿足多電飛機(jī)對(duì)高溫、高效率、高功率密度及高可靠性的要求。因此,耐高溫SOI及碳化硅器件融合的智能功率模塊,就成為了多電飛機(jī)電源變換器的首選。
- 電動(dòng)飛機(jī)
電動(dòng)飛機(jī)(Electric aircraft)是依靠電動(dòng)機(jī)飛行的飛機(jī),其使用的電力來(lái)自蓄電池、燃料電池、太陽(yáng)能電池、超級(jí)電容器、無(wú)線能量傳輸,或其它種類等;鑒于電動(dòng)飛機(jī)減重需求壓力很大,一般無(wú)法接納體積和重量龐大的液體冷卻系統(tǒng)和液壓或氣壓傳動(dòng)系統(tǒng),一般也只有風(fēng)冷散熱條件,此時(shí),電機(jī)驅(qū)動(dòng)總成的熱管理就面臨著很大的挑戰(zhàn)。在此,耐高溫SOI及碳化硅器件融合的智能功率模塊,又成為不二的解決方案。
類似于電動(dòng)汽車,受到電池容量的限制,電動(dòng)飛機(jī)也有里程焦慮,因而追求最高的能源效率,以實(shí)現(xiàn)最大的續(xù)航里程,因此也趨向于從體硅IGBT器件,轉(zhuǎn)向基于SiC/GaN功率器件來(lái)構(gòu)建電源和電控系統(tǒng)。如此,不僅能獲得更高的能源轉(zhuǎn)換效率,還能耐受更高的溫升。
結(jié)論
高溫SOI技術(shù)通過(guò)器件結(jié)構(gòu)的改進(jìn),突破了體硅器件的溫度困境;采用改良的金屬化系統(tǒng)和高溫加固工藝,大大提高了器件的高溫可靠性。隨著第三代半導(dǎo)體功率器件的日趨成熟和普及,其固有的高溫性能與高溫SOI集成電路形成了非常理想的搭配。由此,為飛機(jī)系統(tǒng)設(shè)計(jì)工程師打開了一扇新的窗口,為全面實(shí)現(xiàn)分布式設(shè)計(jì)和電氣化設(shè)計(jì),奠定了基礎(chǔ)。
編輯:黃飛
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評(píng)論
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